无铁永磁直线执器洛伦兹力模型的研究.pdfVIP

摘要 摘要 随着材料科学及先进制造业的快速发展，微米、纳米级别的高精度定位平台技术 得到了广泛、深入的研究和发展。在光刻机、同步辐射光源系统等高精度定位平台的 典型应用领域，通常要求定位平台具有微偏航、大偏航旋转能力。目前，该类定位平 台多采用4台直线执行器组合的方式，所以在电磁力精确建模过程中，不能够忽略偏 航角对直线执行器电磁特性的影响。但是，常用的电磁力建模方法均是在零偏航角状 态下建立的，与之对应的控制策略不能够满足偏航运行的要求。因此，建立考虑偏航 角影响的直线执行器电磁力模型已成为进一步提高该类平台定位精度的关键之一。 本文首先介绍了微偏航、大偏航精密定位平台的发展和研究现状，然后介绍了直 线执行器的发展现状及电磁力建模的三种常用方法。根据直线执行器样机的结构及具 体参数，分别采用谐波分析法、表面等效磁荷法建立了样机的电磁场模型。在此基础 上，采用洛伦兹力法建立了一种新型的考虑偏航角影响的电磁力、力矩模型。同时， 为体现偏航角对电磁力的影响，采用麦克斯韦应力张量法、虚功法建立了不考虑偏航 角影响的电磁力模型。晟后，根据不同的电磁力、力矩模型，对直线执行器样机的偏 航控制策略进行了理论研究。 本文采用C++语言编程实现上述电磁力、力矩模型，并用ANSYS有限元软件验 证模型的正确性，计算结果通过Matlab软件进行分析比较。研究结果表明，建立的新 型电磁力、力矩模型满足偏航运行的精度要求，可应用于样机控制器的设计。 关键词：精密定位平台，直线执行器，电磁力，电磁力矩，洛伦兹力法，虚功法，麦 克斯韦应力张量法，偏航控制 ABSTRACT ABSTRACT scienceandadvanced With ofmaterial the rapiddevelopments ornanometerscale arewell ofmicrometer stage technologies hi曲一precisionpositioning as fields，such studied．In stage photo。etching hi曲一precisionpositioningapplication source is to machineand radiation generallyrequired synchrotron system，positioningstage offourlinear of isalmostconsisted be stage yawing．Atpresent，thepositioning capable actuators．In force effectonlinear electromagneticmodelingprocess，yaw