环形光源在fieau干涉系统中的设计与研究.pdfVIP

硕士论文 环形光源在Fizeau干涉系统中的设计与研究 摘 在高分辨率高精度光学干涉检测过程中，系统中元件的缺陷及干涉环境中(除干涉 腔外)的微小颗粒产生的寄生干涉条纹等相干噪声，严重制约着干涉测试精度的提高。 因此，本论文针对干涉系统检测过程中存在的相干噪声，从干涉系统的光源部分入手， 展开了对抑制相干噪声方法的研究，得到了若干有意义的结果。 根据干涉成像系统的理论模型，以最大化抑制相干噪声为目标，深入分析了环形光 源照明模式下的干涉模型，该照明方法具有在抑制相干噪声的同时，最优化的保留了干 涉条纹的对比度。然后，通过范西特．泽尼克(Van 光源的空间相干度进行对比，得到了环形光源照明的光场强度分布及对比度表达式，并 进一步模拟了离轴照明方法所引起的问题，并就环形光源半径的大小，宽度及干涉腔长 等参量与干涉条纹对比度之间的关系进行了验证、分析与讨论。 为了验证环形光源具有抑制相干噪声的能力，在Zemax光学设计软件中，通过光栅 相同噪声的条件下，就环形光源照明与传统点光源照明的干涉效果进行对比，发现用环 形光源照明的方法在保留干涉条纹对比度的同时，对相干噪声有着良好的抑制能力。 通过对环形光源照明技术的研究，它在最优化保留干涉图对比度的同时，有助于抑 制光学元件疵病、系统杂散光等产生的相干噪声，这对提高干涉测试系统的信噪比，扩 展干涉系统的可测空间频率范围有着非常重要的意义。 关键字：离轴照明，相干噪声，环形光源，计算全息，斐索干涉仪 Abstract 硕士论文 Abstract At laserinterferometeris affectedcoherentartifactsand present,the adversely by influencethe the resolutionand interference precisionduringhigh precision opticaltesting， RoFillumination ofunwantedradiation in technical，coherent Using superposition generated theinterferometerwillbe this asthe sourceofthe dissertation，嬲far suppressed．In light areobtainedaS is results follows． concemed，some system meaningful thetheoreticalofcoherence to the Firstly,from opticalimagingsystem，aSsuppress coherent characteristicofRoFilluminationmethodintheinferometric artifacts，the system coherent the haSbeen Canred