电子散斑剪切-移干涉术的研究.pdfVIP

摘 要 本文主要研究电子散斑剪切一相移干涉术在变形检测和振动检测方面的应 用。研究了电子散斑剪切干涉术和相移干涉术的原理，两种技术结合设计了多功 能电子散斑剪切一相移干涉仪，该仪器可应用于变形和振动的检测，也可用于无 损检测技术。 设计完成了电子散斑剪切一相移干涉仪的光学、机械、电路及软件系统。该 仪器可一次性检测大小为220ram×165mm(长x宽)矩形物面的变形和振动， 可直接得到由变形或振动引起的离面位移的梯度(沿剪切方向)分布，即沿剪切 方向的应变分布，干涉仪对离面位移梯度的理论分辨率与剪切量成反比关系，在 绿光照明条件下，选取剪切量为5mm，采用电子散斑剪切干涉术测量物体变形 时对离面位移梯度的理论分辨率为2．66×10～，采用电子散斑剪切一相移干涉术 X10～。 测量物体变形时对离面位移梯度的理论分辨率为1．07 论文的主要创新点为： 1． 建立了电子散斑剪切一相移干涉术数学模型。根据统计光学理论，分析了电 子散斑剪切一相移干涉术检测物体变形和振动的原理，并建立了相应的数学 模型。 2． 使电子剪切散斑干涉术和相移干涉术相结合，实现了多功能电子散斑剪切一 相移干涉仪。包括：仪器的光学结构、机械结构及其控制系统。该干涉可应 用于变形和振动检测，也可用于无损检测技术。 3． 设计并实现了闭环控制精密相移系统。该系统采用压电陶瓷驱动的柔性铰链 微平移机构带动相移反射镜实现无摩擦、无间隙的高精度微相移，为了抑制 压电陶瓷驱动器的非线性效应所带来的定位误差，采用闭环控制方法，以电 容微位移传感器作为微位移反馈元件，并通过单片机系统实现闭环控制。 4． 针对电子散斑剪切干涉条纹图的图像处理，建立了均值滤波和小波变换相结 合的组合滤波方法。可以消除条纹图中的散斑噪声，最终得到电子散斑剪切 干涉条纹的二值化图像及其边缘分布图。 关键词：电子散斑剪切干涉术；电子散斑剪切。相移干涉术；时间平均法；频闪 法；位相提取和解包裹算法； ABSTRACT The ofelectronic application specklesheafingphase—shiftingpattern deformationandvibrationof isstudiedinthisdissertation．Theof measuring objects theory electronic is speckleshearingpatterninterferometry(ESSPI)andinterferometry phase-shifting studied．The multifunctionalelectronic interferometeris speckleshearingphase-shiftingpattern tocombineESSPIand interferometeris to designed phase—shiftinginterferometry．ne applied deformationandvibrationof non-destructivetoo． measuring objects，and testing The andsoftware opticalsystem，mechanicalsystem，circuitry oftheelectronic sp