外腔注入振荡改半导体激光器模式特性的研究.pdf

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外腔注入振荡改半导体激光器模式特性的研究

堑坚查兰竖主丝苎——————————————————一 摘要 本文对半导体激光器输出激光的模式特性、振荡特性以及外腔反馈注入半导 体激光器改善其模式特性的技术开展了一系列的研究工作,建立了一套实用有效 的外腔反馈注入振荡系统,并对两种不同类型的半导体激光器(半导体激光器列 阵和宽接触条形半导体激光器)进行了实验研究和理论分析,成功获得了窄线宽 单瓣近衍射极限的激光输出。 文中提出了一个结构简单,输出稳定,腔内器件失调不灵敏的半导体激光器 外腔反馈一次注入系统,并用光线传输矩阵对该外腔的特性进行了详细的理论分 析。在半导体激光器列阵的外腔实验研究中,获得远场分布光瓣宽度(FWHM) 为O.46。,相应于光束质量为1.12倍衍射极限的激光输出。 在宽接触条形半导体激光器的外腔实验研究中,设计了一个新颖的外腔结 构,即通过外腔使得注入激光在腔内多次往返放大,获得远场分布光瓣宽度 近衍射极限的激光输出。 在前腔镜对增透膜的宽接触条形半导体激光器的外腔实验研究中,在上述的 外腔结构中加入标准具,利用光栅和标准具共同的选模作用,获得光瓣宽度 (FWHM)为0.440,相应于光束质量为1.08倍衍射极限,谱宽为

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