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第28卷 第8期 传 感 技 术 学 报 V0l_28 No．8 2015年 8月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Aug．2015 SwitchingoffM icrochannelsUsingSurfaceAcousticW ave ZHANGAnliang1．,ZHANGXiaoquan ，HUwenyan ， ZHANGJiansheng．F Xiangting (1．SchoolofElectronicInformationandElectricEngineering，ChangzhouInstituteofTechnology，Changzhou213002，China； 2．DepartmentofElectricalEngineering，NingboUniversity，NingboZhejiang315211，China) Abstract：Forcontrollingtheflow directionofmicrofluidinmicrochannels，anewmethodforswitchingoffmicro— channelsbysurfaceacousticwaveispresented．Aninterdigitaltransducerwith27．5MHzcenterfrequencyisfabri— eatedona128。yx-LiNbO3piezoelectricsubstrateofrexcitingsurfaceacousticwave．Solidparaffininpoly(dimeth— ylsiloxane)grooveismeltedbysurfaceacousticwaveandtransportedalongamicrochannelduetocapillaryforce． Assoonastheelectricsignalofrexcitingsurfaceacousticwaveismovedoff，theparaffinissolidifiedandblocked themicrochanne1．Themicrochannelisthenswitchedoff．Reddyesolutionisusedtodemonstratetheoperationof switchingoff themicrochanne1．Resultsshow thatthemicrochannelcan successfullybeswitchedoff bysurface acousticwave．Nearfiveminutesswitchingtimeisobtainedwhentheelectricsignalpoweris31．7dBm．Theworkis helpofrresearcherstostudyonmicrovalvescontrolledbysurfaceacousticwave． Keywords：microfluidicdevice；switchingoffmicrochannel；surfaceacousticwave；paraffin；piezoelectricsubstrate EEACC：7820 doi：10．39690．issn．1004-1699．2015．08．010 声表面波为能量源的微通道关闭研究 章安 良 ，张小权 ，胡文艳 ，张建生 ，付相庭 1．常州工学院电气学院，江苏 常州 213002；2．宁波大学电子工程系，浙江 宁波 315211) 摘 要 ：为控制微通道内微流体流向，提出了一种声表面波关闭微通道方法。在128。旋转Y切割x传播方向的LiNbO，压电 基片上制作 中心频率为27．5MHz的又指换能器，其激发的声表面波熔融聚二甲基硅氧烷微槽内固体石蜡 ，熔融后的石蜡由于 毛细作用力沿微通道输运。当移去激发声表面波的电信号后，熔融石蜡固化并阻塞微通道，实现微通道关闭。以红色染料溶 液为实验对象，对微通道进行关闭操作。结果表明，