传感器与检测技术 作者 董春利 第三章 电容式传感器.pptVIP

传感器与检测技术 董春利 主编 潘洪坤 执笔 大连职业技术学院电气电子工程系 2008年3月 第三章 电容式传感器 3.1 电容式传感器的原理与结构 3.2 电容式传感器的特性与补偿 3.3 电容式传感器的测量电路 3.4 电容式传感器的应用 利用电容器的原理，将非电量转换成电容量，进而实现非电量到电量的转化的器件或装置，称为电容式传感器，它实质上是一个具有可变参数的电容器。 由于材料、工艺，特别是测量电路及半导体集成技术等方面已达到了相当高的水平，因此寄生电容的影响得到较好地解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥。 它的优点是测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应时间短、易实现非接触测量等。 可以广泛的应用在力、压力、压差、振动、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。 第一节 电容式传感器的原理与结构 平板电容器电容量为： ε—电容极板间介质的介电常数，ε=ε0?εr，其中ε0为真空介电常数，εr—极板间介质相对介电常数；A—两平行板所覆盖的面积；d—两平行板之间的距离。 当被测参数变化使得式中的A，d或ε发生变化时，电容量C也随之变化。如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。这就是电容传感器的基本工作原理。 因此，电容式传感器可分为变极距式、变面积式和变介质式