传感与检测技术 作者 刘传玺 第3章 新型传感器.pptVIP

山东科技大学 第三章 新型传感器 第一节 气敏传感器 第二节 湿敏传感器 第三节 感应同步器 第四节 磁栅式传感器 第五节 光栅传感器 第六节 光电式传感器 第七节 光纤传感器 第八节 超声波传感器 第九节 红外传感器 第十节 图像传感器 第十一节 传感器的智能化与微型化 第一节 气敏传感器 气敏传感器可分为半导体气敏传感器、固体电解质气敏传感器、浓差电池型气敏传感器和组合电位型气敏传感器等多种类型。其中实际使用最多的是半导体气敏传感器。 一、电阻型半导体气敏传感器的结构 制作气敏电阻的材料主要有二氧化锡（SnO2）等金属氧化物半导体，取材和掺杂不同决定了气敏电阻的类型，常用的气敏电阻有P型、N型和混合型三种。 它们的典型结构如图3-1所示。 由于加热方式一般有直热式和旁热式两种，因而形成了直热式和旁热式气敏元件。直热式气敏元件的结构及符号如图3-2所示。 这类器件制造工艺简单、成本低、功耗小，可以在高电压回路下使用，但热容量小，易受环境气流的影响，测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响。 旁热式气敏元件的结构及符号如图3-3所示，它的特点是将加热丝放置在一个陶瓷管内，管外涂梳状金电极作测量极，在金电极外涂上SnO2等材料。旁热式结构的气敏传感器克服了直热式结构的缺点，使测量极和