传感器技术 作者 陈建元 第二章 阻抗式结构性传感器1.pptVIP

1.深亚微米精度电感式位移传感器 (a) 传感器结构示意图　　(b) 半桥工作原理 图2.83　差动自感式微位移传感器原理图 2.自感式电动阀门扭矩测量系统 图2.85感式扭矩测量装置 1 机体 2 轴承 3 蜗杆 4 线圈 5 铁芯 6 联轴器7 电机 8 蜗轮 图2.86式扭矩测量装置测试电路原理图 2.7.4 微机械传感器 微机械传感器利用硅片的刻蚀速度各向异性的性质，和刻蚀速度与所含杂质有关的性质，以及光刻扩散等微电子技术，在硅片上形成穴、沟、锥形、半球形等各种形状，从而构成膜片、悬臂梁、桥质量块等机械元件。将这些元件组合，就能构成微型机械系统。利用该技术，可将弹簧、透镜、喷嘴、调节器等，以及检测力、压力、加速度和化学浓度等量的传感器，全部制作在硅片上。目前已成功地将构造十分复杂的，用于气体分析的色谱仪制作在一块直径仅50nm的硅片上。由于以电容传感原理和静电驱动原理的微机械结构传感器已经进入成熟发展阶段。以下将介绍ADXL50微机械加速度传感器。 ADXL50是一种叉指式状电容式硅微型加速度计(Finger-shaped Micromachined Silicon Accelerometer，简称FMSA)。由美国AD公司和德国Seimens公司联合研制，主要用于汽车上的安全气囊，目前已形成系列产品，包括59、509单自由度和双自由度的产品。 叉指式硅微型加速