传感器 第4版 作者 唐文彦 第09章 谐振式传感器.pptVIP

谐振式传感器 ? 一 概述 ? 二 谐振式传感器的理论基础 ? 三 振弦式谐振传感器 ? 四 振膜式谐振传感器 ? 五 振筒式谐振传感器 ? 六 振梁式谐振传感器 ? 七 压电式谐振传感器 八 应用举例 一 概述 基于谐振技术的谐振式传感器，自身为周期信号输出（准数字信号），只用简单的数字电路即可转换为微处理器容易接受的数字信号。谐振式传感器的重复性、分辨率和稳定性等非常优良，又便于和微处理器直接结合组成数字控制系统，自然成为当今人们研究的重点。 谐振式传感器大体分为两类：一类是基于机械谐振结构谐振式传感器；另一类是MOS环振式谐振传感器。本章主要介绍基于机械谐振结构的谐振式传感器。它们可利用振动频率、相位和幅值作为敏感信息的参数。由于谐振式传感器有许多优点，也适于多种参数测量，如压力、力、转角、流量、温度、湿度、液位、粘度、密度和气体成分等，所以这类传感器已迅速发展成为一个新的传感器家族。 二 谐振式传感器的理论基础 1 基本结构 2 闭环自激 3 敏感机理 4 谐振子的Q值 5 设计要点 6 特征与优势 谐振式传感器的基本结构 由ERD组成的电— 机— 电谐振子环节，是谐振式传感器的核心。适当地选择激励和拾振手段，构成一个理想的ERD，对设计谐振式传感器至关重要。