传感器技术 作者 陈建元 第五章 磁电式传感器1.pptVIP

第5篇 磁敏传感器技术 1 霍尔式磁敏传感器 2 结型磁敏器件 3 磁阻式磁敏传感器 4 机械式、感应式与磁通门式磁敏传感器 5 磁共振式及超导式磁敏传感器 6 光纤磁敏传感器 7 微波传感器 1 霍尔式磁敏传感器 在利用半导体材料的磁敏感特性而工作的一类磁敏传感器（即半导体磁敏传感器）中，比较重要的包括霍尔磁敏传感器、磁敏二极管、磁敏三极管以及半导体磁阻器件等，其中应用最广泛的是霍尔磁敏传感器。 霍尔磁敏传感器包括霍尔元件和霍尔集成电路。后者是将分立的霍尔元件与放大器电路等集成在一块硅片上所构成的一种IC型结构。它们都是基于半导体材料中电流与磁场相互作用从而产生电动势的霍尔效应原理工作的。 1.1 霍尔效应 1879年美国物理学家E.H.Hall首先发现了霍尔效应。如图1.1模型所示，当在长方形半导体片的长度方向通以直流电流I时,若在其厚度方向存在一磁场B,那么在该半导体片的宽度方向就会产生电位差EH，此即霍尔效应。 1.2霍尔元件的主要技术参数 （1）输入电阻（Rin） （2）输出电阻（Rout） （3）额定控制电流（Ic） （4）最大允许控制电流（Icm） （5）不等位电势（Vm） （6）不等位电阻（RM） （7）磁灵敏度（SB）与乘积灵敏度（SH） （8）霍尔电势温度系数（β） （9）输入/输出电阻温度系数αin （10）非线性误差NL 1.3 霍尔元件的等效电路及不等