传感器技术及其工程应用 作者 金发庆 第11章 智能传感器.pptVIP

用频率计可测振荡频率。 若环境温度改变，则M值会随之改变，振荡信号频率就会改变。 用频率计测得频率的变化Δf，由计算机计算可获得温度的变化ΔT。 ΔT＝kΔf／f0 若在两个叉指换能器之间的声表面波传播通道上铺设待测化学敏感膜， 在测量的过程中，膜的质量的变化也会引起声表面波振荡频率改变。 计算得到化学敏感膜质量的变化Δm。 Bf0Δm＝Δf／f0 B是与压电晶体衬底材料有关的参量。 声表面波叉指换能器与膜技术结合，可以开发出叉指换能器微型生物传感器。 11.8.4 反射波阵列式微加速度传感器 图11-18所示， 压电薄膜上做有叉指换能器，同时做有多晶硅质量块。 质量块下方有反射体，质量块紧紧贴近压电薄膜（距离小于一个声波波长），由支撑体支撑。吸收体做在最左边。 图11-18 叉指换能器式微加速度传感器 天线接收空中的电磁波信号，转换为高频振荡信号激励叉指换能器， 在叉指换能器的叉指之间产生高频振荡信号频率的电场， 由于逆压电效应在叉指换能器的叉指之间产生声表面波， 声表