接触式rf mms开关接触可靠性的研究与分析.pdfVIP

摘要 摘要 RF MEMS开关与现有射频领域中应用的PIN开关和FET开关相比，具有插入损耗更低、隔离 度更高、线性度更好、功耗更小、可使用频带更宽等优点，可以广泛的应用在雷达系统、卫星和无 线通信系统等领域。目前RFMEMS开关可靠性研究受到越来越多的关注，可靠性分析模型的建立 可以为高性能开关的设计提供参考依据和设计准则。随着RFMEMS开关可靠性的提高，其市场前 景会越来越广阔。 接触式RFMEMS开关是通过两层金属的接触和断开完成开关功能的，其可靠性与金属接触区 域的性能密切相关。而开关的金属触点仅为微米量级，因此表面粗糙形貌的正确描述成为确定开关 接触模型的关键。本文从微观尺度出发，引入多元统计方法建立了平行粗糙表面间的基本微观接触 模型，用以分析接触载荷、实际接触面积、表面变形等参数随粗糙表面的变化特性。采用接触电阻 作为接触式RFMEMS开关接触可靠性的宏观表征量，建立了相关的分析模型，更有利于直观的分 析开关的接触特性和可靠性问题。针对开关很容易出现的粘附失效现象，应用微观统计分析方法， 着重计算了考虑毛细力作用后的表面接触特性。结合ANSYS有限元分析建立了开关准静态粘附失 效的分