激光共聚焦显微镜在磨损表面粗糙度表征中的应用.pdfVIP

第35卷第9期 中 国 激 光 V01．35。No．9 2008年9月 CHINESEJOURNAI。OFLASERS 文章编号：0258—7025(2008)09—1409—06 激光共聚焦显微镜在磨损表面粗糙度 表征中的应用 孙大乐1’2 吴琼1*刘常升1 张 恒2 姚利松2 (1东北大学材料与冶金学院，辽宁沈阳110004；2宝山钢铁有限公司研究院，上海201900) 摘要磨损是材料常见的表面失效现象，粗糙度是数字化描述材料磨损表面形貌特征的最常用参数。采用激光共 聚焦显微镜(LSCM)。通过调节物镜倍率、测量视场和过滤参数等，能够得到材料磨损表面的真实形貌，同时能够对 磨损表面三维(3D)形貌特征进行精确数字化描述。对常见的粗糙度值0．5～2．0 tzm磨损表面采用20X物镜扫描 测量比较合适；粗糙度小于0．5“m的磨损表面宜采用50×物镜；粗糙度大于2．5sz