蓝宝石泡生晶体的热场测量技术的研发.pdfVIP

摘要 随着近年来半导体照明产业的快速发展，带动蓝宝石衬底需求快速增长。由 于蓝宝石单晶材料具有优良的机械和光学性能，使其在LED光源的应用上有巨 大的市场，随之蓝宝石晶体生长设备的需求量也与日俱增。当前普遍应用泡生法 生长蓝宝石单晶的技术虽然趋于成熟，但是生长炉中坩埚热场变化，不能实时测 量控制局部温度，温度梯度不能优化，成品率并未有很大提升，导致生产成本过 高。大尺寸、低成本、高质量的蓝宝石单晶制备一直是蓝宝石生长技术的难点和 重点。所以需要一套蓝宝石单晶生长炉内的温度测量标准方法，来改善炉内热场 以提高晶体质量。 本文从黑体辐射的基本理论知识，分析了当前红外辐射测温技木主要应用的 两种方法，单色法和比色法。通过传统红外测温仪在晶体炉中的测量，结合热场 模拟仿真比较两种方法的可行性，提出一套结构简单、测温精确、价格便宜，可 以方便应用于蓝宝石泡生晶体炉热场测量的方案。本文设计并制作了一个便携式 光纤辐射测温系统，整个系统包含了大功率光纤耦合器、传能光纤、光电探测器， 前置放大模块，AD采样模块和信号处理模块等。具体描述了各个模块的作用及 数据处理方法，并对本系统的测试性能做了详细验证。 通过实验证明，本文研究的便携式光纤辐射测温系统稳定，精度可靠，测