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4.5.3.1 电子束表面处理的主要特点 (1)加热和冷却速度快 将金属材料表面由室温加热至奥氏体化温度或熔化温度仅用几分之一到千分之一秒,其冷却速度可达1×106~1×108℃/s。 (2)使用成本比激光低 电子束处理设备一次性投资约为激光的1/3,实际使用成本也只有激光处理的一半。 (3)结构简单 电子束靠磁偏转动、扫描,而不需要工件转动、移动和光传输机构。 (4)电子束与金属表面耦合性好 电子束与表面的耦合不受反射的影响,能量利用率远高于激光,因此电子束处理工件前,工件表面无需加吸收涂层。 (5)电子束在真空中工作,可以保证在处理中工件表面不被氧化。 (6)电子束能量的控制比激光束方便,通过灯丝电流和加速电压很容易实施准确控制。 (7)电子束辐照与激光辐照的区别在于产生最高温度的位置和最小熔化层的厚度。电子束加热时熔化层至少为几个微米厚,这会影响冷却阶段固-液相界面的推进速度。电子束加热时能量沉积范围较宽,而且约有一半电子作用区几乎同时熔化。电子束加热的液相温度低于激光,因而温度梯度较小,激光加热温度梯度高且能保持较长时间。 (8)电子束易激发X射线,使用过程中应注意防护。 4.5.3.2 电子束表面处理工艺 1.电子束表面淬火 用电子束轰击金属工件表面,控制加热速度为1×103~1×108℃/s,使金属表面加热到相变点以上,待电子束离开后,工件表面自冷淬火而硬化,表面可获得极高的硬度。此方法适用于碳钢、中碳低合金钢、铸铁等材料的表面强化处理。例如,用2~3.2kW电子束处理45钢和T7钢的表面,束斑直径为6mm,加热速度为3000~5000℃/s,钢的表面生成隐针和细针马氏体,45钢表面硬度达62HRC,T7钢表面硬度达66HRC。 2.电子束表面重熔处理 利用电子束轰击工件表面使表面产生局部熔化并快速凝固,从而细化组织,达到硬度和韧性的最佳配合。对某些合金来说,电子束重熔可使各组成相间的化学元素重新分布,降低某些元素的显微偏析程度,改善工件表面的性能。目前,电子束重熔主要用于工、模具的表面处理上,以便在保持或改善工、模具韧性的同时,提高工、模具的表面强度、耐磨性和热稳定性。 如高速钢孔冲模的端部刃口经电子束重熔处理后,获得深1mm、硬度为66~67HRC的表面层,该表层组织细化,碳化物极细,分布均匀,具有强度和韧性的最佳配合。由于电子束重熔是在真空条件下进行的,表面重熔时有利于去除工件表层的气体,因此,可有效地提高铝合金和钛合金表面处理质量。 3.电子束表面合金化处理 先将具有特殊性能的合金粉末涂覆在金属表面上,再用电子束进行轰击,加热熔化,或在电子束作用的同时加入所需的合金粉末,使其熔融在工件表面上,形成一层新的具有耐磨、耐蚀、耐热等性能的合金表层。电子束表面合金化所需电子束功率密度约为相变强化的3倍以上,增加电子束辐照时间,可使基体表层在一定深度内发生熔化。 4.电子束表面非晶化处理 电子束表面非晶化处理与激光表面非晶化处理相似,只是所用的热源不同而已。利用聚焦的电子束所特有的高功率密度以及作用时间短等特点,使工件表面在极短的时间内迅速熔化,而传入工件内层的热量可忽略不计,从而在基体和熔化的表层之间产生很大的温度梯度,表层的冷却速度高达1×104~1×108℃/s。因此这一表层几乎保留了熔化时液态金属的均匀性,可直接使用,也可进一步处理以获得所需性能。电子束表面非晶化处理目前还处于研究阶段。此外,电子束覆层、电子束蒸镀及电子束溅射也在不断发展和应用。 4.5.4 离子注入 4.5.4.1 离子注入的原理 离子注入是把工件放在离子注入机的真空靶室中,将需要注入的元素在离子源中进行离子化,以几十至几百千伏的电压把形成的离子引入磁分析器,在磁分析器中把具有一定荷质比的离子筛选出来,并导入加速系统,高能离子在扫描电场作用下,可在材料表面纵横扫描,从而实现高能离子对材料表面的均匀注入。金属经离子注入后,在零点几微米的表层中增加注入元素和辐射损伤,从而使金属的耐磨性、摩擦因数、抗氧化性、耐蚀性发生显著变化。经离子注入后,某些金属材料的耐蚀、耐磨和抗氧化性能可提高近1000倍。 图4-68为等离子源离子注入的工作原理示意图。等离子源离子注入方式是一项全新的、十分经济实用的表面热处理技术。 与通常的冶金方法不同,离子注入是用高能量的离子注入来获得表面合金层的,因而有以下优点。 (1)溶质原子靠高能量撞进金属晶格内,不受热力学平衡条件限制,原则上任何元素都可以注入任何基体的金属中。如室温下,氮在钢中的溶解度只有0.001%,但用离子注入可使溶
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