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Sheet3 术语 单词 ETCH E/R Selectivity Uniformity Profile Stopping layer Etch bias Over etch Residues Micro-masking Resist reticulation Aspect ratio Aspect Ratio Dependent Etching/ARDE Resolution Depth of focus Critical dimensions-CD Chemical etching RIE Anisotropic etch Arcing Micro Loading ICP 开碗口 F基 Cl基 RCA BOE Undercutte etch foot Notche etch back SOFT ETCH DRY ETCH WET ETCH DESCOM Physical etching Spacer etch F/C比 Preetch Resist Profile polymer 衬底损伤 刻蚀速率 选择比 均匀性 侧壁形貌 停止层 条宽损失 过刻 残留物 微掩膜 胡胶 纵横比 纵横比决定刻蚀 终点 光刻胶 分辨率 焦深 关键尺寸 化学刻蚀 物理刻蚀 反应离子刻蚀 各向同性刻蚀 各向异性刻蚀 后刻蚀 刻蚀不足 干法去胶 刻蚀后镜检 接触口刻蚀 通孔刻蚀 电感耦合等离子