AFM简介实验课.pptVIP

原子力显微镜Atomic Force Microscopy 光学显微镜 扫描探针显微镜SPM scanning tunneling Microscopy (STM，1982) Atomic force microscopy (AFM) Lateral Force Microscopy (LFM) Magnetic Force Microscopy (MFM) Electrostatic Force Microscopy (EFM) Chemical Force Microscopy (CFM) Near Field Scanning Optical Microscopy (NSOM) AFM信号反馈模式 接触模式 (contact mode) 非接触模式 (non-contact mode) 轻敲模式 (tapping / intermittent contact mode) 特点： 1）分辨率几乎同接触模式一样好； 2）接触非常短暂，因此剪切力引起的对样品的破坏几乎完全消失； 原子力显微镜之解析度 为克服“加宽效应”： 一方面可发展制造尖端更尖的探针技术， 另一方面对标准探针进行修饰也可提高图像质量。 AFM技术的主要特点: 缺点: 对试样仍有较高要求,特别是平整度. 实验结果对针尖有较高的依赖性(针尖效应). 仍然属于表面