新型解耦式微陀的研究与设计及关键制造工艺的开发.pdf

摘要 过去二十年来，随着MEMS技术的发展，硅微陀螺仪作为检测角速率或者 角度的传感器，受到越来越多的关注，产品已应用于图像稳定系统，汽车安全系 统以及导航与制导系统等。当输入角速度时，哥式效应的作用使得能量从驱动模 态向检测模态发生转移，振动式硅微陀螺通过此时检测模态的振幅获得角度信 息。制约振动式硅微陀螺性能的重要因素之一是机械耦合误差。有关机械耦合的 研究文献较多，但是对半解耦陀螺以及全解耦陀螺的机械耦合误差分析很少有提 及。 本文主要研究半解耦式陀螺与全解耦式陀螺的机械耦合误差，建立其分析模 型。将半解耦陀螺结构简化为所有刚度集中在实际振动的方向，与振动方向正交 方向刚度无限大。检测质量块的振动研究以驱动框架为参考系，通过位移叠加最 终得到半解耦陀螺结构的耦合误差。采取同样的方式获得全解耦陀螺的机械耦合 误差模型，通过力学分析建立动态方程最终求解得到全解耦模型的机械耦合误差 公式。 在解耦式陀螺的误差模型基础上，提出了全解耦式陀螺设计Designl和全 新可动电极半解耦式陀螺设计Design2。Designl通过解耦梁的设计，由两个检 测质量块同步运动，结构中间区域进行检测的设计。通过仿真得到其耦合误差位 移较小。但在动态情况下，其耦合误差位移比较高。对于D