水热法制备zn透明导电薄膜及特性研究.pdfVIP

中文摘要 中文摘要 ConductiveOxide 透明导电氧化物薄膜(Transparent Films，简称TCO)是一种重要的光 电材料，具有良好的电导性、在可见光区域的高透光性等优良特性，在太阳能电池、紫外探 测器、LED等光电产业中有着广阔的应用前景。ZnO作为一种典型的TCO材料，具有同氧 Tin 化铟锡(IndiumOxide，简称11’o)相比拟的光电性能，其原料丰富、绿色环保、易于制 备、生成成本低等优点使其成为最有希望替代ITO的材料。纳米ZnO薄膜的制各及掺杂已 成为现在国内外材料学界和物理学界的研究热点。 论文首先介绍了ZnO薄膜的光电性质和ZnO薄膜掺杂前后的导电机制，其透过性与禁 带宽度密切相关，而欲改善其电导率主要通过掺杂以提高载流子浓度的方式来实现。但掺杂 量过高时，离化散射变强，导致电导性和透过性都变差。当薄膜厚度在一定范围内，其电导 率随厚度的增大而增加，当薄膜厚度继续增加，电导率趋于稳定。 其次，论文采用操作简单、易大规模生产的水热法制备ZnO薄膜，并对其表