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第27卷第3期 北方工业大学学报 V01．27NO．3 CHINA 2015年9月 J．NORTH UNIV．OFTECH． Sept．2015 一种光电式倾角传感器的设计 郜晨希 李中一 (北方工业大学机械与材料工程学院，100144，北京) 摘要 以红外光电二极管作为敏感元件，弹性体作为弹簧元件，并基于电磁反馈系统，设 计研究了一种一90。～+90。大量程角度测量的倾角传感器．对弹性体结构部分进行了理论计算 与有限元分析，电路部分采用差分放大与PID调节驱动．经过样机性能测试与标定，结果表明： 传感器在不带电磁反馈的开环系统下非线性度为0．09591％，在带电磁反馈的闭环系统下非线 性度可达0．0615％，并且闭环系统综合性能明显优于开环系统． 关键词倾角传感器；光电二