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鞍型栅极结构纳米线冷阴极场发射显示器的研制 专 业：微电子学与固体电子学 硕士生：麦强 导师：陈军教授 摘要 场发射显示器具有低功耗、高亮度、响应速度快和工作温度范围宽等优点。 而采用准一维纳米材料冷阴极是实现低成本大面积可控制场发射显示器的一个 新途径。 本论文简要介绍了场发射显示器的工作原理及其器件结构，综述了场发射显 示器的研究现状，并重点介绍了鞍型栅极结构场发射显示器的结构设计及器件结 构的湿法制作工艺研究结果，最后分别介绍了集成CuO纳米线和ZnO纳米线冷 阴极的鞍型栅极场发射显示器的特性研究结果。本论文的主要成果可概述如下： 1．针对低温热氧化生长准一维纳米冷阴极材料的特点，本论文提出了一种 结合平面栅极和背栅极的鞍型栅极结构场发射显示器。该结构可以方便地将各种 低温定域生长的准一维纳米冷阴极材料集成于器件结构中。在该器件的模拟结果 中可以发现，相比背栅极结构，鞍型栅极结构可以有效地提高栅极在阴极上产生 的电场，从而降低栅极驱动电压。 2．建立了一套湿法制作鞍型栅极结构的工艺。该工艺适合于大面积器件制 作。在大面积绝缘层刻蚀方