数字式半导体电率测试方法及系统研究.pdfVIP

摘要 摘要 电阻率是半导体材料的重要电学参数之一，是判断材料掺杂浓度的主要依据。 半导体材料电阻率的测量在集成电路．帝糙行业中有着重要意义。四探针法是半导 体材料及器件电阻率测试中经常采用的二种方法，该方法原理简单、数据处理简 便，为科研及生产单位广泛应用。传统的四探针测试仪，由于采用分立元件，精 度低，可靠性和稳定性差，且需要手动换档调节电流，效率低，已经落后于时代 发展。随着嵌入式技术的日趋完善和推广，测试系统集成化和数字化已经成为各 类仪器、仪表的发展方向。因此，对传统四探针法测试装置的数字化研究和改进 具有非常重要的意义和实际开发价值。 本文首先从半导体电阻率的概念和主要测试方法出发，着重研究了四探针电 阻率测试原理，系统组成，并分析确定了几个难点：对不同几何形状及边界条件 的半导体材料所采用的各种修正进行了详细的理论推导。然后简要介绍了基于单 片机的嵌入式系统设计方法及流程。通过对不同电路方案的分析和比较，结合嵌 入式系统设计理念，最终提出并设计了一种以AVR单片机为核心的数字式四探针 测试系统。 硬件方面，文中依据功能划分详细论述了组成四探针测试系统的各个模块， 特别是恒流源和电位差测