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JEM-2100培训资料 JEM-2100培训资料 第一篇 透射电镜系 第一篇 透射电镜系 统解析 统解析 系统解析分类 系统解析分类 • 真空系统 • 真空系统 • 高压系统 • 高压系统 • 电子光学系统 • 电子光学系统 • 特殊功能应用 • 特殊功能应用 第一章 真空系统 第一章 真空系统 • 机械泵解析 • 机械泵解析 • 扩散泵解析 • 扩散泵解析 • 离子泵解析 • 离子泵解析 • 抽真空时序解析 • 抽真空时序解析 • 真空规解析 • 真空规解析 1. 机械泵解析 1. 机械泵解析 • 工作过程： 吸气—压缩—排 • 工作过程： 吸气—压缩—排 气。 气。 • 机械泵油起润滑，密封和堵 • 机械泵油起润滑，密封和堵 塞缝隙的作用。 塞缝隙的作用。 • 机械泵不工作时，应使进气 • 机械泵不工作时，应使进气 口处于大气状态，以防止返 口处于大气状态，以防止返 油。 油。 • 由于极限压强较高， 常用做 • 由于极限压强较高， 常用做 前级泵(预抽泵) 。 前级泵(预抽泵) 。 旋转机械泵剖面图 2. 扩散泵解析 2. 扩散泵解析 • 工作过程：油蒸发—喷射—凝结， • 工作过程：油蒸发—喷射—凝结， 重复循环 重复循环 • ( 由于射流具有工作过程高流速 约 • 由于射流具有工作过程高流速(约 200米/秒) 、高密度、高分子量 200米/秒) 、高密度、高分子量 (300—500)，故能有效地带走气体 (300—500)，故能有效地带走气体 分子。 分子。 • 扩散泵不能单独使用，一般采用机 • 扩散泵不能单独使用，一般采用机 械泵为前级泵，以满足出口压强 械泵为前级泵，以满足出口压强 (最大40Pa)，如果出口压强高于规 (最大40Pa)，如果出口压强高于规 1. 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 定值，抽气作用就会停止。 定值，抽气作用就会停止。 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器 离子泵 溅射离子泵)解析 3. ( 3. 离子泵(溅射离子泵)解析 • 工作过程：气体分子电离－潘宁 • 工作过程：气体分子电离－潘宁 放电－离子轰击钛溅射－化学吸 放电－离子轰击钛溅射－化学吸 附及掩埋吸附分子 附及掩埋吸附分子 • 由于使气体分子电离并在阴极钛 • 由于使气体分子电离并在阴极钛 板上形成溅射并提供活性的钛金 板上形成溅射并提供活性的钛金 属进行1).化学吸附2).掩埋吸附在 属进行1).化学吸附2).掩埋吸附在 阳极筒吸附分子以及阴极的边角 阳极筒吸附分子以及阴极的边角 部分的惰性气体分子，故吸收气 部分的惰性气体分子，故吸收气 体分子。 体分子。 • 离子泵一般采用扩散