单片柔顺机构微夹钳的性能分析和控制技术的研究.pdfVIP

Performance Analysis and Control Technology of a Microgripper Based on Monolithic Compliant Mechanism A Thesis Submitted to Chongqing University in Partial Fulfillment of the Requirement for the Degree of Master of Engineering By Dong Haomin Supervised by Prof. Wang Daihua Major: Instrument Science and Technology College of Optoelectronic Engineering of Chongqing University, Chongqing, China May 20 11 中文摘要 摘 要 随着微纳米技术(Micro/nanotechnology) 和微机电(Micro-electro Mechanical Systems, MEMS)系统的兴起和发展，对多个微小零件装配成复杂的微机电系统的 微装配与微操作技术成为迅速发展起来的一个研究领域。微夹钳在微操作和微装 配过程中直接与夹持对象接触，其作为微操作和微装配系统中典型的末端微执行 器，对微操作和微装配任务的实现有着重要的作用。微夹钳技术是一门涉及微机 械、材料、传感器、自动控制、电子技术和计算机等的交叉学科，在微机械、微 电子学、光学、微流体和生物科学等领域有着广泛的应用。装配零件的尺寸和形 状都不固定，而且容易变形和破碎。一方面微夹钳的夹爪位移应行程大、分辨率 高，在显微视觉视场中可以准确地移动；另一方面为避免损伤微型零件，应对夹 持力进行传感和反馈控制。因此，研究具有大行程、高分辨率的夹爪位移，并集 成夹持力/位移传感器和反馈控制的微夹钳具有重要的意义。 本文在开发的夹爪平行移动的压电驱动微夹钳基础上，建立了力/位移输入输 出关系模型，并对动力学模型进行了改进。分析了微夹钳的单片柔顺机构的传感 特性，集成了夹持力和夹爪位移传感器，并完成了传感器的标定。建立了实验平 台并对微夹钳的夹持力特性进行了测试。在集成传感基础上，辨识了微夹钳的驱 动电压与夹持力和夹爪位移之间的关系模型。研究了力/夹爪位移的反馈控制技术， 采用了PID 反馈和模型参考自适应控制来提高夹持力/夹爪位移的控制精度。 本文的主要研究工作和成果包括： 1. 在开发的压电致动微夹钳的基础上，对微夹钳的夹持力和夹爪位移的性能 进行了分析。运用伪刚体模型法建立了微夹钳的单片柔顺机构的夹持力、输入力、 夹爪位移与输入位移之间的关系模型并进行讨论。对原有的单片柔顺机构的动力 学模型进行了改进。理论分析为微夹钳夹持力的传感与控制提供了理论基础。 2. 分析了微夹钳的单片柔顺机构在夹爪移动和夹持物体过程中的应变特性及 实现夹爪位移传感和夹持力传感的可行性，分别建立了单边柔顺铰链最大应变与 输入力、夹爪位移，柔性梁最大应变与梁变形、夹持力的之间关系模型，并与有 限元仿真结果进行比较。利用ANSYS 软件仿真分析了单片柔顺机构的应变特性和 粘贴的应变片的应变分布。仿真结果表明，可在单片柔顺机构单边柔顺铰链和柔 性梁上分别粘贴应变片构成夹爪位移传感器和夹持力传感器，并且传感器输出呈 线性关系。 3. 在单片柔顺机构的单边柔顺铰链和柔性梁上分别粘贴半导体应变片实现了 夹爪位移和夹持力的测量，并利用惠斯通单臂电桥和差动电桥连接实现了传感信 I 重庆大学硕士学位论文 号的转换和处理。根据微夹钳的单片柔顺机构的夹爪平行移动的特点，利用标准 悬臂梁的受力与梁弯曲变形之间关系，提出一种利用非接触式位移传感器测量柔