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坐标测量机的空间误差检测及 21 项几何误差分离的方法——郭俊杰　张　琳　皮　彪 文章编号: 1004- 132 (2002) 13- 1081- 04 坐标测量机的空间误差 检测及 21 项几何误差分离的方法 郭俊杰　张　琳　皮　彪 ( ) 　　　　摘要: 对使用 2 维检具 球板或孔板 快速检测三坐标测量机的空间误差, 进行了较深入的研究。为了高效、准确地实现测量机的误差修正, 提出了分离 坐标测量机的 21 项几何误差的算法, 并以龙门式结构的三坐标测量机为例, 建立了其误差模型。通过计算机数据仿真, 验证了此方法的可行性。 关键词: 坐标测量机; 空间误差; 多项式回归; 误差分离 中图分类号: TH 71; T P 274. 5　　　文献标识码: A 郭俊杰　教授 　　三坐标测量机的误差修正技术, 已成为提高其 变换矩阵为 [ 1, 2 ] 1 - (y ) (y ) (y ) - (y ) 测量精度的一种行之有效的方法 。现有几何误 Z Y X X Y (y ) 1 - (y ) y + (y ) 差测量, 多使用双频激光干涉仪等 1 维标准检具进 Z X Y Q (y ) = - (y ) (y ) 1 (y ) 行单项检测, 耗时长、造价高、数据处理繁杂。因此, Y X Z 研究快速、准确进行坐标测量机空间误差的测量并 0 0 0 1 对各单项误差进行分离, 无疑可有效缩短其制造周 (2) 当运动部件沿Z 轴移动理论距离z 时, 其齐次 期和降低检定成本, 进一步提高测量精度, 开拓应 变换矩阵为 用领域。 1 - (z ) (z ) (z ) - (z ) Z Y X X Z (z ) 1 - (z ) (z ) - (z ) 1　三坐标测量机的误差补偿模型 Z X Y YZ