光纤法布里—珀罗MEMS压力传感器研究.pdfVIP

摘要 摘要 传感器的微小型化、多功能、高灵敏度和批量生产能力已是工业生产和国防 建设的迫切需求。微机电系统(MEMS)传感器和光纤传感器仍然是当前研究和 开发的热点。光纤M卟压S压力传感器既具备MEMS传感器体积小、功能强、灵敏 度高和易于批量生产的优点，又具备光纤传感器传输频带宽、动态测量范围大、 易于组成分布式测量网的特点。我们研制的光纤MEMS压力传感器是对现有的压 力传感器技术的提高和补充，能够满足科学研究和生产需求，有望解决传感器向 微型化发展和批量生产时遇到的问题，适用于强电磁干扰、易燃易爆等恶劣环境， 在石油化工和航空航天领域有广泛应用前景。 设计并研制了一种基于相位法解调的光纤MEMS压力传感器。对光纤法布里 一珀罗干涉型MEMS压力传感器进行了理论分析和数值模拟，分析了该传感器各 个参量对压力测量性能的影响。获得了优化的传感器参数，设计了独特的硅膜一玻 璃环一光纤微腔结构，直接结合商用的光纤和法兰盘制作传感器。简化了工艺，降 低了成本，提高了传感器的可靠性。建立了传感器解调实验系统，用基于傅立叶 变换的相位法解调传感器，实验结果表明传感器性能良好。 设计并研制了一种台面膜型的传感器。建立台面膜的力学模型，推导膜的最 大挠度公式。ANSYS仿真模拟平面膜与台面膜受压后挠度变化曲线，并对其进行 平行度分析。分析了比较信号平均效应对两种膜型的影响。设计传感器的加工步 骤，详细考虑了双面对准工艺中掩模板的制作。建立传感器的测试系统，对完成 的传感器的样品进行线性度、重复性的性能测试并给出实验结果，并与平面膜进 行分析比较。 设计并研制了一种基于光纤腐蚀的微型非本征型压力传感器。提出了一种全石 英制作的F．P型传感器模型，讨论了EFPI传感器的灵敏度与分辨率。设计了传感 器的加工步骤，详细讨论了关键步骤HF腐蚀多模光纤以及单模光纤与多模光纤的 熔接实验。用波长法解调传感器。建立测试系统，对传感器性能进行测试。 关键词：光纤传感；微机电系统；压力传感器；F．P干涉；相位解调；波长解调． Abstract Abstract and nationaldefense amassofmicro Industryproduction require sensorswhich havethe characteristicsof andbatch multifunction，hi曲sensitivityproduction． Micro-Electro-Mechanical andfibersensorare hot alsothe Systems(MEMS)sensor areasofresearchat fiberMEMSsensorhave both the of present．Optical advantages MEMSSensorand fiber the Seg．SOFwhichhasthe of propertieslargebandwidlh,hi薛 of testsandhasa thatcarlbe sensitivity,largerangedynamic configurationreadily intosensor