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摘 要
摘 要
压电陶瓷、记忆合金等智能材料构成的微执行器具有控制精度高、稳定性好等优点
而被广泛应用与微电子制造、航空航天等重要领域。但是这些智能材料本事存在的迟滞
特性不仅会降低系统的控制精度,甚至会直接影响到系统的稳定性,因此消除迟滞非线
性是微纳米系统的首要问题。因此本文在研究迟滞特性的基础上,利用 Preisach 函数
表征迟滞特性,结合自适应滑模控制策略,建立了基于 Preisach 逆模型前馈补偿的控
制系统。本文所做的主要工作如下:
(1)在总结现有表征迟滞特性的方法上,选取应用最广泛的Preisach数学模型表
征迟滞特性,并且讨论研究 Preisach 逆模型的存在性及定理。在几何描述的基础上,
得到Preisach数学模型以及其逆模型的数字实现方式。
(2)在总结带有迟滞特性系统的基本控制方法上,并且根据带有迟滞特性系统的
特点及控制要求,设计基于迟滞逆模型前馈补偿的控制系统,采用 Preisach 模型表征
迟滞特性,利用 Preisach 逆模型提供前馈补偿,结合不同控制算法,构成基于迟滞逆
模型前馈补偿控制系统。
(3)针对一般压电陶瓷控制系统,采用设计基于迟滞逆模型前馈补偿的控制系统,
结合自适应滑模控制算法,实现位置跟踪控制目标。通过实验对比,在获得的逆模型精
度不高的前提下,验证了逆模型前馈补偿控制系统较逆模型串级控制系统能更好实现跟
踪控制,并且跟踪误差减小了4%,能更有效地减弱迟滞特性对系统的影响。
(4)针对带有迟滞特性的SISO非线性系统,同样采用基于迟滞逆模型前馈补偿控
制系统,结合自适应反步滑模算法,实现位置跟踪目标。通过实验对比,证实了同样在
获得的逆模型精度不高的前提下,逆模型前馈补偿控制系统较逆模型串级系统,更有效
地减弱迟滞特性对系统的影响,并且提高了控制精度,跟踪误差减小10%。
关键词 迟滞特性 Preisach模型 自适应反步滑模算法 前馈补偿
I
Abstract
Abstract
Micro actuator is composed of piezoelectric ceramic, memory alloy intelligent material
which has the advantages of high precision and good stability. They are widely used in the
field of microelectronics manufacturing, aerospace etc. A control system is established based
on Preisach inverse model feed-forward compensation. It used the Preisach function
representation methods and combined with the strategy of adaptive sliding mode control. The
main works are as follows:
(1) Based on summarize the method of existing characterization of hysteresis
characteristics, the paper selects the most widely used Preisach model characterization of
hysteresis and discuss the existence of Preisach inverse model. The Preisach mathematical
model and
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