锆钛酸铅(PZT)陶瓷材料相关技术和应用研究.pdfVIP

摘要 针对目前压电微泵驱动电压普遍较高、不易于批量制造等局限，提出制作在较 低驱动电压下有较高驱动能力且响应频率高的PZT厚膜驱动器。在分析压电膜 片驱动原理以及收缩／扩散口模型的基础上，设计、制作了PZT压电层厚度40urn 的膜片式驱动器，并将其用于无阀微泵测试。测试表明，驱动器具有高的谐振 应用前景。 3．利用飞秒激光加工技术实现对PZT陶瓷的烧蚀及图形化。 飞秒激光加工技术作为一种高精度的无掩模加工技术，具有真三维、亚微 米级分辨率、热影响小等优点，在微细加工领域应用越来越广泛。飞秒激光具 料的双光子／多光子吸收效应，所以可以用来高精度的加工几乎所有类型的材 料。本文中以飞秒激光烧蚀材料的阂值模型作为理论基础，利用烧蚀加工孔径 大小与能量密度的相互关系进行PZT烧蚀阈值的研究，通过毫焦(InJ)能量飞 秒激光脉冲成功实现对PZT陶瓷的烧蚀，并在此基础上，以适当功率和扫描参 数飞秒激光实现对PZT压电厚膜驱动进行了图形化研究。通过对实验结果的测 试、分析可以得出，飞秒激光加工技术能够满足对PZT陶瓷的高精度、高效率 的图形化要求。 关键词：PZT陶瓷ITO飞秒激光图形化微泵驱动器 Ⅱ