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用于测量的精确温度控制 M. Orzylowski, T. Kaluzniacki, Z. Rudolf, G. Nowicki Industrial Institute of Electronics, Warsaw, Poland 摘要 本文首先讨论以下几个型号的材料，部件或设备的温度相关参数为测量目的的电热设备(首先让我们先来讨论一些适用于测量装置的热参数的材料，组件或设备的电热装置)，提出解决炉管温度的最优控制任务（的方案）。在一个具有同等延误的多截热系统模型的基础上，发现了炉反应堆的最佳温度控制的解决方案。其次我们证明降低最优反馈增益矩阵到低维的最理想形式。我们也表明（证明）次优控制器在一个级联配置变量的预测温度控制器的形式实施。其中预测性反应器温度控制的影响在几个测量设备中得以表现。 引言 在研究和工业实验室中，确定材料、部件或设备的温度相关参数往往是必要的。这就要求放置有问题对象的应堆中的测量使用精确的温度控制（这就要求在放置反应器中物体时的精确测量的温度控制）。 测温传感器的校准是要求设备具有极高的精度和温度稳定性以及均匀性，的很好的例子[7]（如精例（7））。例如，在所需的温度均匀性检测传感器测量块中要求一小部分在1000°C的水平程度，以及进程的效率要求一个快速稳定的块温度。 保持一个静态热场的一个略有不同的问题出现在焦炭反应性的测量中（静态热场在焦炭反应性的测量中保持略有不同）。通过了在反应堆中焦炭的二氧化碳的流动带来了相关的强吸热反应，该反应的强度依赖于试样的属性。当试样的温度稳定同时提供传统加热器的温度控制从几度延伸到几十度，计量的条件要求温度为1300°C±1°C。 在其他设备中，需要一个设定空间和时间的温度场。这种反应堆是用于判定成型材料[9]的硅，釉染料，骨灰等的阶段转换温度点及其随温度变化的标本图像分析（模式识别）。在大型反应堆区域的温度场均匀性依然较为严峻的情况下需要在反应堆的半导体扩散时间内可编程温度变化[2,5]。这种反应堆包含晶圆以及测试晶圆测试 在实践中遇到困难（由于上述困难，在实践中），应使用适宜Beuken模型已被用于上述目的几十年。由在工作点附近线性一阶滞后和延迟组成的另一种模式，对控制目的是非常有用的。 本文介绍了反应堆中的温度场精确控制模型和相关的方法，属于一定的测量和带有电阻加热器的生产设备组。本组涉及单一和多截面热水器设备。 2、炉的数学模型 在本节中所讨论的系统通常是包含一炉管式反应器的纵向或横向排列的电阻电炉。例如，垂直炉反应器可以包含一个焦炭或砂样本，而水平可容纳一个压制灰或金属块本，用温度传感器校准（图1 对于红外热场控制等设备的一般分析应该考虑到多段加热器的情况。一炉5节加热管状炉结构数学模型，如图2所示。假设测量涉及的直接状态变量使用下列名称： Ui- 加热功率信号的第i段，即一个强烈的热耦合的第i段加热器 可以很好的假设为一阶滞后（无延迟）[4]。为了简化这个演示，忽略了在这个模型中的状态扰动和测量噪声的输入。 图2 一批5节加热器炉的结构模型 如图2所示的具有时滞的线性加热装置的时间离散模型，可以用下面的公式描述： 其中 其中nb是关于在加热器和反应堆之间的能量流的最大等效延迟的控制步骤数量而nh是相当于在加热器功率信号和放置在接近加热器的传感器的响应之间的延迟控制步骤相应的数量。在考虑限制条件nb=3nh的情况下发生。 矩阵，见定义[4]。记忆载体的Pb，Ph值代表所考虑的动力系统的不可见的内部状态变量。 3、最优控制 为了找到一个理想的控制温度，我们首先要解决的问题最优控制。 过渡矩阵在这种情况下是奇异阵，所以可以发现最优控制的解决方案，例如用动态规划[1]。其相关的控制方程可以写成以下形式： 由于加热器的温度控制向量和以前的控制向量值出现在状态向量（2）中，所以控制（6）是预测类型。 如果我们假定无限优化即N→∞，使反馈增益矩阵为常数，将大大简化控制（6）。 这样的假设，使我们能够避免一些稳定出现的问题，例如广义预测控制（GPC）方法[8,3] 在最优控制（6）中的大型矩阵Sopt增加了解决方案的难度。这个矩阵基于全状态向量（2），其元素数量为： 状态向量X（K）包含的能观和不能观变量，如前所述，不能观变量的实际值由先前的值的控制向量和加热器温度向量表示。能观向量包含加热器和一炉批的实际温度。 一个系统的3段加热（=3），在抽样，加热器的传感器响应延迟10秒 4、次优控制 在很多情况下，我们可以通过预先减少模型的阶数以得到反馈增益矩阵的维数的减少。例如，忽视模型的响应速度最快的模式。这种方法并不适用于有时延的分析模式。基于这个原因，我们采用直接减少[6]中反馈增益体积的方法，这种