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真空计分类原理和损坏 真空计分类 - 按原理 Bourdon规（波尔登） 铜管受压力不同有舒张现象，带动杠杆、齿轮转动 测量范围：100Pa~1atm 可能损坏： 测量压力过大 测量腐蚀性气体 薄膜规 - 电容规 膜片受压力变形，与电极间电容变化 测量范围：一般跨四个量级 0.01Pa~100Pa 0.1Pa~1000Pa … 灵敏度很高 环境温度影响大 高于环境温度的恒温条件下使用 预热数小时 可能损坏： 过压 - 隔离阀 压力变化过快 振动 - 波纹管连接 测量腐蚀性气体 电容规（续） Pirani电阻规（皮拉尼） 气体分子导热量与热丝温度关系，进而与热丝电阻关系 用电桥测量电压变化 测量范围： 恒压0.1Pa~100Pa 恒温0.1Pa~1000Pa 高气压时导热多，热丝温度降低，不准 不同气体导热性不同，需要校准 可能损坏： 过低气压使用 测量腐蚀性氧化性气体 Pirani电阻规（续） 恒压模式 测电流得电阻 Pirani电阻规（续） 恒温模式 测电压 Pirani电阻规（续） 可能危险：向腔体充Ar，读数不到1E4Pa时实际已经超1atm，导致系统外爆 热电偶规 基本原理同Pirani电阻规 用热电偶直接测量热丝温度 测量范围： 0.1Pa~1000Pa 高气压时导热多，热丝温度降低，不准 不同气体导热性不同，需要校准 可能损坏： 过低气压使用 测量腐蚀性氧化性气体 热阴极电离规 - 传统 热阴极电离规 - 传统（续） 热阴极发射电子，电离气体分子，收集极收集离子，离子电流大小与气压关系 测量范围： 1E-5Pa~1E-1Pa 不同气体电离率不同，需要校准 电子在栅极产生软X射线在收集极引起光电发射，造成收集极收集到离子的假象，此误差影响测量下限 热阴极电离规 - Bayard-Alpert规 减小收集极面积，消除光电发射误差 测量范围： 1E-9Pa~1E-1Pa 可能损坏： 过高气压使用 测量腐蚀性氧化性气体 Bayard-Alpert规（续） 冷阴极电离规 - Penning规 磁控放电电离 其它原理基本同热阴极 测量范围： 1E-7Pa~1E-1Pa 不同气体电离率不同，需要校准 容易发生溅射 可能损坏： 过高气压使用 测量腐蚀性气体