三维形貌测量仪的研制及其数字全息干涉计量技术的研究.pdf

摘要 摘要 现在正在发展的物体表面形貌测量是物理光学工程、力学(特别是实验力 学)、机械、形貌学与计算机信息图像处理自动化等紧密结合的一门学科，它的 内容丰富，应用广泛，深为学者们所关注。本论文所涉及的仅仅是这一科学中的 很有发展前途的两个热点领域：数字全息法及激光扫描法，重点是完善和发展这 两种方法，特别是侧重于对其中若干行之有效的新方法和新技术进行研究。 本论文首先利用光成像原理及光散射原理建立了～种激光三角法测量物体 形貌的数值模型。利用此数值模型研究了被测物体形貌对于光斑质心偏移的影 响，进而研究了对物体测量精度的影响。通过对两种形状(倾斜平面和圆柱面) 被测物体的数值模拟，得到物体形状对测量精度影响的数值解，并定性的给出了 各参数对其影响的规律。最后，提出利用软件补偿的方法提高测量精度。 将激光三角法测量原理应用于实际工程实践，研制了物体三维形貌及粗糙度 测量仪。通过VisualBasic中的MsComm控件对串口的控制，从而实现了对电机 及传感器的自动控制，使该仪器实现了完全自动测量的能力。此外，利用VB与 Matlab的混合编程方法得到了被测物体的三维形貌重构图、等高线图并给出了十 几种表面粗糙度参数。该测量仪的测量精度可达0．6“m，测量范围达到 100×400×80ram3。 最后，本文从理论上对无透镜傅里叶变换数字全息进行了分析，发现其数字 再现过程是一个傅里叶变换过程。借助于Matlab的强大计算功能，采用VB与 Matlab混合编程的方法，可以实现实时采集处理显示的功能。从而提出了利用数 字全息法对物体形变进行实时测量的概念，并对一铝板的受力变形过程进行了测 量。将移动光源法与数字全息技术相结合实现了对物体形貌的测量，并对一铝板 进行了实际测量。此外，计算了LLFT数字全息的点扩散函数，并对影响分辨率 的因素进行了初步讨论。最后，对由于CCD采样带来的问题进行了探讨，就CCD 单元的平均化、离散化采样、CCD靶面大小的三种影响进行了研究。 关键词：形貌测量激光三角法形貌测量仪数字全息 ABSTRACT Thesurface measurement at is anew shapes beingdevelopedpresent subject， whichcombines with for physicalopticalengineeringclosely experimentalmechanics)，machine，geomorphy，andcomputerinformation image drawn scholars’attentionforitsrichcontentsandwide processing，havingmany dissertationconcemsthelenslessFouriertransform(LLFT) application．This only andlaser measure fieldwith digitalholography method，two triangulation hotspot future of research on thisnew focuses prospectivedevelopmentsubject．Themainly and the withaviewtO