洁净室气流组织模拟及其优化.pdfVIP

摘 要 在信息时代高速发展的今天 大规模 超大规模集成电路的生产对洁净室提出了 更高的要求 优化洁净室气流组织形式是提高洁净室洁净度的一种有效途径 本文主 要研究和探讨了利用数值模拟计算(CFD)技术 对一个不同的过滤器满布比和不同的 回风形式的垂直单向流洁净室的气流组织进行模拟 并详细叙述了基于模拟结果进行 计算分析实现气流组织优化的关键技术和实现方法 介绍了洁净室技术与集成电路生产之间相辅相成的关系 对洁净室和数值模拟技 术的国内外发展现状和趋势做了综述 接着从垂直单向流洁净室的工作原理及其四种 不同的送风形式出发 讨论了洁净室气流组织的各方面的影响因素 选择 CFD 技术 采用高雷诺数的K- e 紊流的数学模型和有限体积法的数学离散 方法 选用数值模拟软件fluent6.0 对一个顶棚满布高效过滤器 格栅地板回风和两 侧下回风两种送风方式的洁净室进行气流组织的模拟计算 得到了不同满布比的速度 场分布 通过对此洁净室模型的数值模拟计算 得出的结论如下 当满布比在60% 以上时 格栅回风口的送风形式的气流平行度和两侧下回风口形式的气流平行度在工作区都 能满足洁净度的要求 对于上送侧回 随着满布比的减少 产生回流的概率增大 适 当增加送风口的面积 可适用于不大于100 级的洁净室 最后对全文进行了总结 对此垂直单向流洁净室气流组织的数值模拟计算展望了 进一步工作 关键词 垂直单向流洁净室 气流组织 满布比 气流平行度 格栅地板 两侧下回风 I Abstract In the current world along with the rapid development of information technology. The manufacturing of VLSI is strict with the cleanliness of clean room more and more. Because the research and optimization of air flow in the clean room is a very effective method to improve the cleanliness. In this thesis, utilizing the technology of computational fluid dynamics (CFD) ,the author simulates the air-flow of a clean room, which has two kinds of air blowing with different ratios of blowing area of filters .And the implementation methods of the optimization of air flow based on simulation result are discussed in detail At first, the close relationship between the clean room and VLSI is introduced, while the status in quo and trend of development of clean room and CFD in our country and the world are summed up as well. Then the principle of vertical laminar flow clean room and the different styles of blowing are introduced. And the factors of influence of air flow are discussed as follows. In the next place, the K- e turbulence model cooperated with FVM based on CFD is adopted to simulate a