培训130319-CO2氩离子.ppt

一、气体激光器概述 一、气体激光器概述 一、气体激光器概述 一、气体激光器概述 二、氩离子激光器 二、氩离子激光器 二、氩离子激光器 ?CO2气体激光器是在φ(He)=80%、φ(N2)=15%、φ(CO2)=5%的混合气体中进行放电，利用电子的碰撞激发工作物质，从而形成粒子数反转的分子激光器。 ?按照气体冷却方法的不同可将高功率CO2激光器分成扩散冷却和流动冷却两大类，流动冷却又分为轴向流动、横向流动及螺旋流动等多种。 快轴流CO2激光器 六、提问和解答 无激光输出 　　这是CO2激光器在使用中出现频率最高的故障，应从三个方面进行故障分析和检查。首先检查高压供电电路，因该机的直流高压电源高达到24kV。利用面板上的开关旋钮、指示灯及相应的电压表对故障进行分析判断；在断电的情况下测量高压供电电路是否有断路；确认高压变压器本身是否正常；对负责调整输出电压的可控硅及其触发电路进行测量、检查；在通电情况下用量程大于30kV的高压表测量直流高压电路输出的电压数值。 六、提问和解答 根据调查统计，直流高压供电电路故障导致无激光输出的故障占该类故障总数的60%以上。其次检查光路仔细观察导光臂固定座的中心轴与CO2激光管的中心轴是否重合(应重合)；CO2激光管的固定卡环是否松脱；激光管输出侧的平凸镜位置是否正常；输出窗是否清洁。 六、提问和解答 最后检查激光管，如激光管放电正常，但无激光输出，可能是激光管两端腔片损坏或输出窗被遮盖；激光管有不正常的放电，无激光输出，可能是激光管中阳极或阴极损坏，或管中的工作气体被杂质气体所污染；激光管无放电，也无激光输出，则可能是阴极损坏或老化而不能发射电子，阴极或阳极引线封结处玻璃炸裂或激光管两端腔片粘结处漏气，空气进入激光管，从而激光管无法放电。 六、提问和解答 激光输出弱(强度大大低于正常值) 　　此类故障的原因甚至比无激光输出故障更难分析和检查，仍需从直流高供电电路、激光光路、激光管本身三个方面进行，而且在整个过程中更强调指标的定量。检查电源电压的数值是否正常；旋动激光功率微调旋钮，看毫安表的数值能否灵敏地连续变化(在激光功率选择开关处于不同位置时分别进行)；激光管的检查包括外观结构观察、光路各环节的正确位置、计算激光管的累计工作时间(激光管老化后效率下降，输出变小)。 .保护电路故障 　　一般有四种保护电路，哪一种发生故障，激光器都停止工作。 　　过流保护电路，防止激光管因电路故障引起辉光放电电流过大而使电极损坏或电极线密封处炸裂(一旦炸裂，后果严重)，工程技术人员对该保护电路应采取定期的预防性维修，被动性维修(即发生故障后才去维修)的方式不可取。 　　断水保护电路，CO2激光器工作时会产生大量热量，循环冷却水必须对激光管降温，水路不通时，激光管的直流高压被切断。加压泵工作不正常和水位开关接触不良是此类故障的主要原因。断水保护电路的检查是经常性的工作，不容忽视。 六、提问和解答 安全保护电路，主要由机柜上的门开关组成，为的是保证操作者和患者的安全。因机内有高达24kV的高压。故障原因大多是门开关处接触不良或门装的位置不正。 电源锁开关的保护，为防止非操作和维修人员对机器通电。故障往往由锁开关本身损坏引起，断电情况不用万用表测量即可判断其通、断是否正常。 三、氩离子产品概述 四、CO2激光器 工作物质：CO2、N2和He的混合物，封离式和准封离式CO2激光器在三种气体基础上增加CO和Xe（氙，惰性气体）气体，目的是提高激光器的输出功率和延长激光器的使用寿命。 激光波长：10.6微米、9.6微米（远红外光） 四、CO2激光器 CO2激光器特点： 高功率。 高效率。总体能量转换效率可达10%左右。 高光束质量。相干性好，模式稳定。 输出波段正好是大气窗口（即大气对这个波长 的透明度较高）。 四、CO2激光器 CO2分子的能级跃迁图 四、CO2激光器 CO2激光器中与产生激光有关的CO2分子能级图如 图2所示。由图可见，相应于10.6?m波长的能级跃 迁是(0001)? (1000)，相应于9.6?m 波长的能级跃 迁是(0001) ?(0200)。 CO2激光器的工作气体除CO2气体外，还有适量的 辅助气体N2和He等。 充入He气的作用有二： 一、可加速CO2分子在(0001)能级的热驰豫速率， 有利于激光下能级上的粒子数抽空； 四、CO2激光器 二、可利用He气导热系数大的特点，实现有效地传 热。充入N2气的作用是提高CO2分子的泵浦速率， 为CO2激光器高效运转提供可靠的保证。 当CO2激光器进行气体放电时，一部分高速电子直 接碰撞CO2分子，使其由基态跃迁到激发态(000l) 上，另一部分高速电子与N2分子碰撞，使其由基 态（V＝0）激发到高能态(V＝1)上(N2分子的相应 能级