氧化钛及其复合膜的制备和光学性能研究.pdfVIP

摘要 氧化钛及其复合薄膜的制备和光学性能研究 摘 要 氧化钛具有优异的性能和广泛的应用，怎样改善和调制氧化钛的性能，扩 大其应用范围，是研究的热点领域。本文的目的在于采用磁控溅射技术制备氧 化钛及其复合薄膜，研究复合薄膜光学性能的可调制性，以满足人们对新型功 能薄膜不断增长的应用需求。 采用直流反应溅射方法制备了锐钛矿相的氧化钛薄膜，发现氧化钛薄膜由 棍状晶粒组成，颗粒尺寸随氧分压的增加而增大，首次通过Metripol双折射成 像技术分析了氧化钛光学异向性和晶粒聚合状况，椭圆偏振仪分析发现薄膜的 折射率随氧分压的增大而减小。随着锌含量的增加，氧化钛／氧化锌复合薄膜由 非晶态转变为单相钛酸锌，然后形成钛酸锌和氧化锌混合相，薄膜的折射率和 光学带隙随着锌含量的增加而减小，而消光系数增大。首次在室温衬底条件下 获得六方菱形钛酸锌薄膜，发现衬底温度升高导致颗粒尺寸增大，出现晶粒聚 oc 合的现象，折射率随着衬底温度的升高而降低，而消光系数增大。首次在800 退火处理的立方相钛酸锌薄膜中观察到一个源于氧缺陷和锌离子空位的荧光 峰。氧化镁／氧化钛非晶复合薄膜的折射率与镁含量呈线性变化(x=550nm)，可 以在氧化镁和氧化钛两者之间调制，氧化镁可以增大复合薄膜的带隙，并首次 在复合薄膜中观察到一个与氧空位有关的荧光峰。 关键词：氧化钛，氧化锌，氧化镁，复合薄膜，光学常数，荧光性能，磁控溅射 ABSTRACT Growthand of and ThinFilms Ti02Ti02-base OpticalProperties composite Abstract has and Titaniumoxide excellent optical，electrical，dielectriccatalytic toits hasbeenfound due high properties，and manypracticalapplications and indexinvisibleandnearinfrared aimofthis refractive regions．The transparency thesisisto andits the Ti02 compositefilms，to opticalproperties，to grow study the ofthe thereforeextendthe constants，and exploreadjustabilityoptical application ofTi02． thinfilmswere DCreactive wimdifferentratiosof Ti02 by