PET基纳米Tlt;,2gt;膜的溅射沉积及其表面结构与性能.pdfVIP

摘 要 摘 要 本文利用磁控反应溅射技术，以高纯度钛(Ti)为靶材，氧气为活性气体， 在PET基底上反应溅射沉积TiO，，将纳米TiO，的光催化氧化特性应用于高聚物 表面改性，为进一步开发抗菌织物打下基础。 首次在高分子PET基底上溅射沉积了氧化钛薄膜。利用扫描电镜(SEM)结 合原子力显微镜(AFM)研究了的溅射膜的表面形貌及成膜机理，并系统研究了 各工艺条件(放电功率、工作压力、溅射处理时间、氧氩比等)对表面形貌的影 响。与以往报道的生长模式不同，发现在很短的时间内即可在基底上溅射生成致 密均匀的纳米膜层，其膜厚随着时间的延长而增加，且当达到一定厚度时，又在 原有纳米膜层上生长出更大尺寸的团蔟结构。提高功率可提高膜的覆盖度，使溅 射膜颗粒分布均匀，结合更加紧密。提高压力或减小氧氩比，可使溅射膜的颗粒 更加密集。 利用光电子能谱(XPS)研究了工作气压及氧氩比的变化与溅射膜的结构及 各组分比例的关系。计算了溅射膜的钛氧比，发现不同的工艺条件对溅射膜的组 成有很大的影响。利用X射线衍射法(X-ray)对溅射沉积膜的表面物相结构进 行了研究，发现在本实验室条件下溅射生成的膜均是无定型结构。 利用织物基底，通过溅射制各了抗菌织物，并对其应用性能(包括抗菌性及 牢度)进行了初步研究。发现制各的织物具有一定的抗菌性，并且有相当的牢度。 说明利用射频磁控反应溅射Ti啤制备抗菌织物具有潜在的应用价值。 关键词： 光催化氧化 磁控溅射 抗菌织物 TiO。PET 扫描电镜 原子力显微镜 光电子能谱 x射线衍射法 表面形貌 表面结构 抗菌性能 牢度 Abstragt Abstract In tofinda new to order antibacterial way prepare fibers， of oxidationtitanium beenusedto photocatalytic dioxide(Ti02)has the inour surface of filmsare modify propertypolymers experiment．Ti02 on meansofRf depositedPolyethylene by andAr magnetron the mixed sputteringusing Ti(99．99％)as pure target withas reactive 02 gas． The ofthe filmswereobserved morphologysputter—deposit