稀土元素Ce对i-Al-N系涂层的改性作用研究.pdfVIP

摘要 摘 要 影响涂层刀具和热作模具使用寿命和使用效果的因素很多，但膜／基结合强 度与薄膜的高温抗氧化性是关键。本文系统研究了稀土元素ce对Ti-Al-N系薄 膜的改性，尤其ce对薄膜结合强度和高温抗氧化性的影响。 备含灿和稀土元素ce的TiN系薄膜；用日产MvK—H3显微硬度计测定薄膜 的硬度；用ws—92划痕机测量膜／基结合强度；用x射线衍射(XRD)分析薄膜 的相组成；用光镜和扫描电镜分析薄膜的表面及断面形貌，在DRz-一8箱式电阻 炉上做恒温氧化和连续氧化实验；用热重分析仪SDT2960和差示扫描量热仪Q10 对薄膜进行热分析实验。研究结果表明： 在电弧离子镀沉积Ti—m-N系薄膜过程中，添加适量稀土ce，可提高薄膜 的致密性，改善其耐磨性，使Ti枷．N系薄膜的膜／基结合力提高5-10N。在本 温度由TiN的614。C提高到895。C，高温抗氧化性最好，显示了稀土元素在耐热 涂层中的巨大潜力。稀土元素ce表面活性较强，与薄膜中的杂质作用形成稳定 的化合物而抑制杂质向结合面扩散，从而改善晶界状态，强化晶界，提高膜／ 基结合强度；ce和O亲和力较大，在薄膜表面或界面处优先形成结构致密的氧 化物阻碍。的向内扩散，从而降低Ti．A1-N系薄膜的氧化速度；同时，Ce固溶 在A1203中，提高了氧化膜的粘附性，有利于降低氧化膜的生长应力，从而增 强氧化膜的抗剥落性，使薄膜高温抗氧化性提高。 关键词： 稀土元素Ce 电弧离子镀 结合强度 抗氧化性Ti—AloN系多元薄膜 Abstract ABSTRACT between and strength substrateandoxidation Binding coating resistanceisthemost elmentswhich important decidethe time working and efficience of knifeandhot using dietools．Inthis coating thesis， Effectionofrareearth CeonTi-m-N element series modification， coating the Criticalloadand resistanceis especially oxidation hi曲temperature studied． Ti—N addedrateearthelementCeriumandaluminiumare coating on of Wl8Cr4V substrates4CrSMoVdiesteeland depositedpolished steelmeansofaleion hardnessandcritical highspeed by