PVDCVD设备介绍.pptVIP

製程設備主機介紹 課程目的與大綱 AMAT System Mainframe+Process Chamber+Remote Subsystem 了解次系統觀念與次系統工作原理與應用 廠務設計(facility) 主機系統輔助設備 反應室輔助設備 大綱 安全(SAFETY/LOCKOUT TAGOUT) 概說(Introduction) 主機平台(MAINFRAME) 廠務設施設計(System Facilities) 課程目的與大綱 電力系統(AC POWER BOX/POWER DISTRIBUTION) 傳送反應室(Transfer Chamber) 傳送機制(Wafer Handling) 晶舟承載(Loadlock Chamber) 輔助反應室(Auxiliary Chamber) 系統控制器(SYSTEM CONTROLLER) 高週波(射頻)產生器(GENERATOR RACK) 熱交換系統(HEATER EXCHANGER) 氣體傳送系統(GAS DELIVERY SYSTEM) 真空系統(VACUUM SYSTEM) Safety is always important 安全第一 安全至上 概說 P5000 應用材料公司1980年代中期推出的機台設計 Single wafer,multi-chamber design 6吋8吋設備共用相同的主機架構 提高再