电子隧道加速度计输出信号的分析与处理-光学精密工程.PDFVIP

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电子隧道加速度计输出信号的分析与处理-光学精密工程

10 1 Vol. 10 No. 1 2 0 0 2 2 Opt cs and Prec s on Eng neer ng Feb . 2 0 0 2 1004924X( 2002) 韩 荔, 龙志峰, 李庆祥, 白立芬 ( 清华大学 精密仪器与机械学系, 北京100084) : , , LabVI EW , , , , , , : 电子隧道加速度计; 信号处理; 虚拟仪器 : TH 8244 : A , 1 引 言 , ( ) , 80 , , , , , , , 1 F g. 1 T heoret cal sketch map of an electron c tunnel ng sensor. 2 原理及系统概述 2 , , , , , ( ) , : , , I V exp (- A S ) , ( 1) , b , V : ; : ; S : b - 1/ 2 - 1 ; A : ( A = 1025eV ) ( 1) , I S 1 2 F g. 2 Blo ck d agr am of the closed- loop system . :; : : ( No. 59 875052) 1 , : 9 , 3 信号分析 , , 10 , , , , , 1nA , 20Hz~ 3kHz ( 2) : , ; , 50H z y ( t) = A 0 co

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