CH5P108-145显微总A4.doc

第五章 显微分析及微束分析 实物总以一定的形态存在，物质电子、原子、分子层次的变化都会以不同层次微观形态体现，物质的任何宏观性能或行为，都由其各层次的微观形态所决定。另一方面就同层次而言，物质的化学组成、晶体结构或组织形态，其均匀性是相对的，不均匀却是绝对的，正是这种不均匀性的组合，形成从宏观到微观各层次的万千世界。 显微分析及结合微区形态的微束分析是人类认知微观世界、研究自然科学机制、机理、本质问题最直观的途径。“百闻不如一见”“眼见为实”，都说明视觉信息的重要。 然而，人眼视觉能力有限，只有借助成像技术。从微米分辨的光学显微镜、纳米分辨的扫描电镜、隧道电镜到原子分辨的透射电镜，从常规聚焦光学成像到非聚焦扫描成像，从超声波成象到Ｘ射线计算机层析成像、核磁共振波谱成像，物质科学与图像信息科学的结合层层深入，将看不见的微观奥秘转为形象生动的图像世界。 原则上，物质中能激发的任何一种与空间相关的信息都可以成像。本章以电子光学成像技术为代表，介绍现代分析中显微成像的基本概念、仪器原理和显微分析应用。 5-1 显微学基础 显微分析技术是用显微镜作为工具直观表征物质微观形貌的方法。研究显微成像的理论、方法和技术等综合性学科称为显微学，显微学的基础是显微光学原理。 5-1-1 显微成像与视觉局限 1．图像的概念 图像是反映客观物质(及过程)与时空关联的特征信息列阵，图像的维数与客观物或其过程特征量的维数应一致。物质图像显示该物某特征量的空间分布信息。映射产生图像，图像描述客观事物或其过程。本章所指的图像，不同于前面的化学成份图谱(Spectrum)和衍射花样图相(Pattern)，(Picture)，而是物质真实空间的映像(Image)。 图像由象素组成，图像有两个基本要素：衬度和空间分辨率。衬度即图像对比度，也即象素值层次。没有衬度或很低，就看不见图像。图像空间分辨率，可由象素值在可分辨条件下的像元总数来表述。可分辨的像元总数越多，则反映客观物的细节越清楚。 图像空间分辨极限可定义为由图像中可分辨的两像元最小距离。 形成可视化图像必须有两个条件：一是要有传递物特征量的信息载子，如可见光、红外光、紫外光、Ｘ光、电子、中子和超声波等各种频带的电磁波、能量波和粒子束等；二是要通过适当的成像系统转化为人眼能感受的像。 客观世界中人眼不能分辨的所有细微结构总称为微观世界。显微成像技术的任务是放大微观世界的图像，使人眼能够直接观察。 2. 人类视觉的局限 人眼是精巧和相当完善的天然成像系统，它影响着最终判断图像的质量。但人眼从频率域、空间域等都有明显的局限性，所有视觉分析仪器必须针对人眼的局限性而设计。 首先人眼只能感受可见光，而可见光只是整个宇宙光波段中极小部分，绝大部分信息都是人眼不能直接获取，而要借助仪器转化成各种图像视觉，这涉及的是成像物理。 显微图像关键的是人眼的空间分辨力和衬度层次有限性。空间分辨能力即视力定义为：在照明最佳条件(约103 l x，照度单位：勒克司)下，以最小分辨角的倒数表示，即ρ=1/θ；或用在明视距离（250 ｍｍ）能分辨的最小尺度或空间频率响应每毫米线（对）数表示。 人眼的角分辨率约1’（1/60度）；能分辨两点的最小距离0.2-0.1mm；线分辨率高于点分辨率，空间分辨响应最好约1-0.5(线对)/mm 从生物物理上，人眼感受图像的衬度必须大于5%，即感受灰度级别不到20级。人眼亮度响应是非线性的对数响应，亮度差别很大的图像，人眼感受并不大。 人眼对亮暗变化还存在马赫效应，对相互邻接的均匀亮度区，人眼“过量调整”为不均匀。即亮区紧邻的暗区显得比实际更暗；反之，亮区显的更亮。 另外，心理感觉上，人类视觉对不同图像、不同部位的权重、角度或主观因素不同，理解图像会不同。同一照片，正反面、顺倒向看都不同。人类视觉常常会造成假象。 总之，人眼在信息带宽、灵敏度、分辨率、定量和客观性等方面都存在局限性。 图5-1-1艾利斑和瑞利判据 3．光学分辨的阿贝公式 为了揭示物质微观世界的奥秘，人类必须借助显微镜。显微的两个核心问题：一是成象衬度；二是仪器分辨能力。按一定衬度原理设计的显微镜最重要指标是分辨率。 光学分辨率，能分辨开两点的最小距离，是由衍射效应和像差效应两类因素决定的。 光的波动性产生衍射效应，一个物点通过透镜所形成的像不是一个几何点，而是由中心亮、周围明暗相间同心环的园斑，称为艾利（Airy）斑。如图5-1-1。 两物点靠近时，像面上两个Airy斑也相应彼此靠拢。当两个中心亮斑重迭一半时，两亮峰强度与中心迭加的峰谷强度差（即衬度）G =19 %，此时人眼尚能感觉和分辨开两亮斑。如两物点进一步靠近，当它们的Airy斑重迭过于厉害，衬度下降，以致两物点图像界限模糊无法分辨。 英国科学家瑞利（Rayleigh）