毕业设计（论文）_基于单片机_MOCVD温度控制研究与设计.docVIP

题 目： MOCVD系统的温度控制研究与设计 学 院： 信息电子技术学院 年 级： 2006级 专 业： 电气工程及其自动化 姓 名： 学 号： 指导教师： 摘 要 GaN系列材料在光电、能量装置等方面有着广阔的应用范围和市场前景。采用MOCVD技术进行GaN系列材料生长具有明显优势。研发具有自主知识产权的MOCVD系统具有十分重要的战略意义。而温度是MOCVD系统中的极为关键的控制量。本文的工作就是设计一个能很好满足要求的温度控制器，主要工作包括了三方面。 首先，设计了温度控制器的硬件，总体设计以简单和经济为基本出发点，尽量选用低价的高性能芯片以节省设计成本；并选择串行工作方式，最大程度的节约单片机I/O口。其次，设计了温控器的软件，主要包括A/D采集模块子程序，D/A控制模块子程序、各种接口子程序，并完成了整个软、硬件系统的调试。最后，本文采用了Fuzzy-PID控制算法，该算法既具有PID控制器的动态跟踪品质和稳态精度，又具有Fuzzy控制器动态响应好，达到了上升时间快，超调小的要求，取得了较好的控制效果。 关键词 MOCVD；温度控制器；STC单片机；模糊-PID控制Abstract GaN series in photoelectric materials,energy devices,has a good effect,a broadscope of application and market prospects.And MOCVD technology has obviousadvantages in growing GaN materials.RD with independent intellectual propertyrights MOCVD system is of great strategic importance.The temperature of MOCVDsystem is crucial in the control volumes.Main work of this paper is to design atemperature controller meeting the requirements perfectly;and the principal tasksinclude the following three aspects. Firstly,hardware of temperature controller should be designed.Economysimpleare both the key points,using low-cost,high-performance chips to save design cost;serial methods of work is selected to minimum SCM I/O port.Secondly,thetemperature controller on the basis of hardware designed for temperature controlsoftware.Including A/D acquisition module subroutine,D/A control modulesubroutine,the subroutine of other interfaces cicuits,and completed the entirehardware and software system debugging.Finally,this paper presents FUZZY-PIDcontrol algorithm,as well as with PID controller dynamic tracking quality and steadyprecision,but also has good dynamic response Fuzzy controller,fast rise time,theadvantages of small overshoot,and achieved better control effect. Keywords MOCVD; Temperature controller ;STC-SCM ;Fuzzy-PID目 录 摘 要 i Abstract ii 第 1 章 绪 论 1 1.1 研究MOCVD的目的及意义 1 1.2 MOCVD的发展现状 1 1.3 MOCVD的基本原理 2 1.4 MOCVD系统的温度控制主要内容 3 第 2 章 MOCVD温度控制系统结构 5 2.1 MOCVD温度控制