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电阻应变计式传感器  第五节 电阻应变计式传感器 第六节 压阻式传感器 一.原理和特点 综上所述，电阻应变计有两方面的应用：一是作为敏感元件，直接用于被测试件的应变测量；另一是作为转换元件，通过弹性元件构成传感器，用以对任何能转变成弹性元件应变的其它物理量作简接测量。用作传感器 的应变计，应有更高的要求，尤其非线性误差要小(＜0.05%～0.1%F.S.)，力学性能参数受环境温度影响小，并与弹性元件匹配。 可制成各种机械量传感器，如测力传感器可测10－～107N压力传感器可测103～10Pa，加速度传感器可测到103级m/s2。 达1%～3%F.S.，高精度达0.1%～ 0.01%F.S.)。 (4)商品化，选用和使用都方便，也便于实现远距离、自动化测量。 图2.26?霍尔效应原理图 式中q为电子的电荷量；v为导电载流子的定向运动速度。在洛仑兹力的作用下，空穴正电荷被推向半导体的C侧面积累，而D侧面则形成负电荷积累，从而在半导体C、D间形成静电场EH。该电场力将阻止空穴继续向C面 偏转。当空穴受到的电场力与洛仑兹力相等时，达到 动态平衡。?此时有?? ? ??????????????????????????????????????????????????? (2-48) 由于电场强度与电势差之间存在EH=UH／b关系，代入式(2-48)可得霍尔电势的大小为 (2-49） 流过半导体的电流I常称为激励电流或控制电流，假设它分布均匀，则如下关系成立： (2-50) 个晶轴方向而言的三个独立分量。如果在晶轴坐标系中欲求任意晶向上的压阻系数，则需进行仔细计算。 压阻系数除了与晶向有关外，还与材料的掺杂浓度有关，掺杂浓度较低时，虽然压阻系数较大， 但其随温度变化也较明显，而这对传感器性能是不利的。 2.测量原理 硅压阻式传感器由外壳、硅膜片和引线组成，其核心部分是做成杯状的硅膜片，通常叫做硅杯。 外壳则因不同用途而异。在硅膜片上，用半导体工艺中的扩散掺杂法做四个相等的电阻，经蒸镀铝电极及连线，接成惠斯登电桥，再用压焊法与外引线相连。膜片的一侧是和被测系统相连接的高压腔，另一侧是低压腔，通常和大气相通，也有做成真空的 的。当膜片两边存在压力差而发生形变时，膜片各点产生应力，从而使扩散电阻的阻值发生变化，电桥失去平衡，输出相应的电压，其电压大小就反映了膜片所受的压力差值。  通常硅膜片在受压时的形变非常微小，其弯曲挠度远小于硅膜片的厚度，并且膜片常取圆形。因而求膜片上的应力分布，可以归结为弹性力学中的小挠度圆薄板应变问题。 设均布压力为P，则薄板上各点的径向应力σ r和切向应力σ t与其 作用半径r有如下关系： (2-44) (2-45) 式中? r、h——膜片的工作面半径、厚度； μ——泊松比(硅取 μ=0.35)。 均布压力P产生的应力是不均匀的，且有正应力区和负应力区。利用这一特性，选择适当的位置布置电阻，使其接入电桥的 四臂中，两两电阻在受力时一增一减，且阻值增加的两个电阻和阻值减小的两个电阻分别对接。这样既提高输出灵敏度，又部分地消除阻值随温度而变化的影响。因此，压阻式传感器广泛采用全等臂差动桥路。 二.压阻传感器的类型 1.压阻式压力传感器 压阻式传感器的基本应用就是测压，其工作原理如上所述。但是，根据不同的使用要求，它的 结构形式，外形尺寸和材料选择, 有很大的差异。例如，用于动态或点压力测量，则要求体积很小，生物医学用传感器，尤其是植入式传感器，则更要求微型化，其材料选取还应考虑与生物体相容；化工领域或在有腐蚀性气体、液体中使用的传感器，则要求防爆、防腐蚀；在岩土力学 研究中使用的传感器，则应考虑岩土与传感器材料的匹配，以及由于传感器的埋入而对原有应力场的影响等问题；气象部门要用绝对压力传感器，它在结构及形式上要考虑真空腔的设计；石油勘探部门不仅要求量程能达600大气压，而且温度要求在200℃下使 用。如此等等。用户应根据自己的需要，选用合适的产品。 压阻式压力传感器的性能指标主要有： ①量程：目前最高量程达6×105Ｐa; ②精度：一般在0.2～0.5% F.S.之间，最高达0.1%F.S.; ③满量程输出：通常不低于几十毫伏； ④零点温漂：每摄氏度引起零位输出漂移，一般要求小于5×10－F．S．/℃；