无氧溶胶-凝胶反应合成结构可控SiCN陶瓷.pdf

摘要 碳氮化硅陶瓷(SiCN)以其耐高温、耐热冲击、低膨胀系数、抗氧化、抗化学 腐蚀和半导体性等优异性能，在高温领域、传感器、光电子器件、能源等高技术 领域有重要的应用前景。德国学者上世纪90年代开始报导采用聚硅烷交联一成型 一热解可制备SiCN致密体陶瓷，其后发现采用双(三甲基硅基)碳化二亚酰胺 反应，这意味着可仿效众所周知的有氧溶胶凝胶过程制备各种结构的SiCN陶瓷， 为液相合成这一高性能陶瓷开辟了新途径。但先前学者均采用单一氯硅烷与 BTSC进行凝胶反应，经热解没能获得三维SiCN陶瓷。针对此问题，本工作采用 高交联活性的乙烯基三氯硅烷和BTSC反应，经热解成功地合成出致密SiCN陶 瓷体，进而采用二氯和三氯硅烷混合反应，以三氯硅烷反应构建凝胶网络二氯硅 烷为链状镶嵌结构，经热解实现无模板合成出结构可控的多孔SiCN陶瓷体。主 要研究内容和结果如下： 间结构的SiCN凝胶，该凝胶具有较高的陶瓷产率(在1200。C时陶瓷产率达68 州．％)。对凝胶进行热解获得致密非晶SiCN陶瓷，SiCN陶瓷在1200℃开始析晶， 在1400℃形成棒状Q．Si3N4。 无相分离的白色SiCN凝胶。在1200℃下热解凝胶获得圆孔状SiCN陶瓷，空隙 范围0．059m～41am，进而研究发现圆孔SiCN陶瓷孔的尺寸和气孔率均可调。孔 而增加。