《电阻应变式传感器07》.pdfVIP

第 7 章 电阻应变式传感器 7.1 基本原理 在工程结构的强度分析中，了解和掌握力、力矩、位移、速度、加速度以及流体的压力 等物理量的大小及其变化规律是十分重要的，而这些数据的获取常常是通过工程测量。 工程测量的方法有很多，应用较为普遍的是电测法。其基本原理是通过特定的转换元件 和由它组成的转换装置，把被测物理量转换为电信号，然后再用专门的仪器对电信号进行测 量。根据工作原理，转换元件可以有不同的类型，但简单而又实用的一种就是电阻应变计， 而由它组成的转换装置称为电阻应变式传感器。 电阻应变式传感器，早在上世纪 30 年代末，由美国 E.Simmons 和 A.C.Ruge 制造出第 一批应变计以后不久，在 40 年代初（1944 年）就发明了粘贴式电阻应变传感器。至今已有 半个多世纪的发展历史。其间，几乎每间隔 10 年就出现一次质的飞跃。 40 、50 年代，是传感器早期发展阶段。当时弹性材料、纸基丝式应变计以及粘结剂均 处于发展研究阶段，其性能还不完善。因此，电阻应变式传感器的准确度、稳定性都不能满 足测量技术的要求。 自50 年代，箔式电阻应变计问世后，应变计的温度特性和粘结剂的力学性能都得到改 善，使传感器的温度影响及蠕变影响有了明显抑制，精度提高了约一个数量级。 在 60 年代中期，传感器进入了测量领域。从 60 年代末到 80 年代初的 10 余年中，由于 与传感器性能密切相关的各项技术所取得的突破性进展，使电阻应变式传感器获得了前所未 有的高速发展。 80 年代以后，随着加工工艺、粘贴工艺等的技术进步，使传感器的准确度、可靠性大 大提高，在测量技术领域里得到了广泛应用，成为应变电测技术中的重要组成部分。现在， 传感器已由单纯作为转换元件而发展成为多功能、智能化的信息测量元件。特别是微电子和 微机械技术发展，必将给的传感器发展带来更广阔的空间 7.1.1 传感器的构造与原理 以电阻应变计为转换元件的电阻应变式传感器，主要由弹性元件和粘贴于其上的电阻应 变计构成。其工作原理是，由于被测物理量（如载荷、位移、压力等）能够在弹性元件上产 生弹性变形（应变），而粘贴在弹性元件表面的电阻应变计可以将感受到弹性变形转变成电 阻的变化，这样电阻应变式传感器就将被测物理量的变化转换成电信号的变化。 传感器中感受被测物理量的弹性元件是其关键部分，结构形式有多样，旨在提高感受被 测物理量的灵敏性和稳定性。常用的弹性元件的结构形式有：受拉压的直杆、受弯曲的梁、 受扭转的圆轴、受均布压力的薄圆板、受内压的圆筒、受径向载荷的圆环以及受轴向载荷的 剪切轮辐式结构等。 在力、扭矩及流体压力的测量中，通常把被测物理量直接作为弹性元件所承受的载荷； 在静位移的测量中，利用刚性极小的弹性元件直接感受位移的变化；在振动测量中，则是按 照惯性式测振原理，利用一个由弹性元件和惯性质量块构成的质量-弹簧系统，来反映被测 振动的位移、速度或加速度。 7.1.2 传感器的设计 为了进行高精度的测量，对传感器的使用性能提出以下要求：输出灵敏度高、非线性误 差小、有良好的重复性（即工作稳定性）、湿度对传感器的零点及输出灵敏度的影响小、在 动态测量时有足够的频率响应范围等。 与上述要求相适应，对弹性元件的结构和尺寸设计、弹性元件材料的选择及热处理、应 99 变计与粘合剂的选择、应变计的粘贴与防护工艺等方面必须有严格的要求。 1.弹性元件结构的设计原则 弹性元件结构设计的要求，往往与传感器使用的状态、环境条件、准确度等要求密切相 关。因此，要获得满意的设计，首先应进行全面的考察和了解。 下面所阐述的是一般设计原则，使用时应结合具体情况，合理取舍、灵活运用。 （1） 结构简单。简单的结构形式可以简化加工工艺、降低成本。 （2 ） 有很好的刚性。为了使传感器工作状态保持稳定，减弱外界振动干扰的影响，特 别是低频影响，应尽量使弹性元件在载荷作用下的弹性位移减小，使之有较高的固有频率。 （3 ） 结构的整体性。弹性元件应尽量是一个整体，避免组合结构形式。因为诸如紧固 松动、焊接变形、滑动位移等因素的存在，都可能对传感器的重复性、可靠性带来潜在影响。