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电子工厂工业超纯水设备精处理系统介绍 资料下载 一、 项目背景 深圳某电子厂配套工业超纯水设备工程案例。 二、设计水量 本系统要求产品水量为 50m3/h，因此设计产水量确定为 50 m3/h。 系统采用两级反渗透装置的系统回收率为 75%，故系统的设 计进水水量为 66.7 m3/h。 三、设计进水水质 本纯水系统的进水为当地深井水，其水质经当地环保部门进 行了全水质分析，主要检测分析结果见水质报告。 四、目标水质 根据产品水的用途与要求，确定产品水的目标水质为：电阻 率≥10MΩ?cm 该技术资料由莱特莱德西宁超纯水设备厂家提供 五、处理工艺选择 电子用纯水不同于一般的纯水制备，它对水质具有更为严格 的规定，属于高纯水范畴。一般来说，高纯水制备主要包括预脱 盐与精处理脱盐两大部分，如何进行工艺的选择和组合成为高纯 水制备的关键。 典型工艺流程 (水质符合美国 ASTM 标准，电子部超纯水水质标准 (18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm 和 0.5MΩ*cm 四级) 1、预处理→反渗透→ 水箱→阳床→阴床→混合床→纯化水 箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对 象 2、预处理→一级反渗透→加药机 (PH调节)→中间水箱→第 二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌 器→0.2 或 0.5μm 精密过滤器→用水对象 3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI 装置→纯化水 箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2 或 0.5μm 精密过滤器→用水 对象 4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI 装置→纯化水 箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→0.2 或 0.5μm 精密过 滤器→用水对象 目前，预脱盐处理常常采用的主要是离子交换工艺和反渗透 工艺。离子交换已被广泛使用许多年，我国八、九十年代初的纯 水制备工艺基本上都采用离子交换法，该工艺技术成熟，工艺可 靠，而且可根据目标水质的要求进行多种离子交换方式的组合。 随着科技和自动化技术的发展，离子交换再生频繁、操作复杂、 维护麻烦、运行费用高等缺陷就越来越突出，九十年代逐渐被新 的反渗透技术代替，特别是预脱盐目前基本上都采用反渗透技术。 和离子交换相比，反渗透具有运行稳定、占地少、操作维护简单、 可实现高度自控，处理水量越大，其优势就越明显。 预脱盐后续的精脱盐处理工艺则根据目标水质的要求而有 所不同，对超高纯水 (电阻率大于 16 MΩ?cm)，目前一般采用更 先进的 EDI 技术;对电阻率低于 16MΩ?cm 的纯水, 目前仍采用经 济可靠的混合床技术。因为对纯水的精脱盐，混床又显示出其独 有的优势：脱盐稳定，效率高，再生周期长，操作维护少。 鉴于以上的分析，结合项目的现实情况，在综合技术因素、 经济因素的前提下，确定本纯水工程采用以反渗透为主体工艺， 混床作为精处理工艺。具体工艺流程简图如下： 本系统原水采用深井水，水温在 15℃左右，对于反渗透系 统不是最佳温度。反渗透系统的最理想的温度为 20℃左右，如 果要保证 20℃的温度，必须对原水采用加温措施，加温的方式 可以选用电加热或蒸汽换热，对于小水量系统比较可行，但是对 于较大水量系统，能耗偏高。其付出与升温带来的益处相比，反 而不具有经济性。温度的升高虽然有利于提高反渗透系统的回收 率，但是在本系统设计中对于反渗透系统的回收率具有一定的余 度，因此无需加温仍完全可以满足系统要求。同时，升温过程的 控制和操作也比较复杂。因此，本系统不考虑采用原水升温措施， 只在反渗透系统中考虑水温影响，进行修正。 原水经泵提升依次经过组合过滤器、投加阻垢剂和保安过滤 器等预处理工段，用以去除原中水的悬浮固体、胶体、有机物， 并降低原水的浊度、色度等，保证 RO 进水 SDI3，以提供合格 的反渗透进水。 保安过滤器出水经高压泵提升进入反渗透装置，反渗透出水 进入中间水箱，反渗透部分设有在线 PH 调节装置。为保证反渗 透装置长期稳定运行，设置反渗透清洗装置，视需要对反渗透膜 进行清洗。 中间水箱出水经纯水泵提升至混床除盐系统，利用离子交换 原理进一步脱盐，处理后产出的合格水流经微孔过滤器至纯水箱 处，再经供