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《电子显微分析》.pdf
第二章第二章 电子显微分析电子显微分析
第二章第二章 电子显微分析电子显微分析
Electron Micro-Analysis
一、一、教学目的教学目的
一一、、教学目的教学目的
1.学习电子光学基础、电子与固体物质的相互作用。
2.学习透射电子显微分析和扫描电子显微分析。
3.学习电子探针 X 射线显微分析。
二、二、 教学方法教学方法
二二、、 教学方法教学方法
面授
三、三、 教学手段教学手段
三三、、 教学手段教学手段
板书
四、四、 学时分配学时分配
四四、、 学时分配学时分配
14 学时
五、五、 重点重点、难点、难点
五五、、 重点重点、、难点难点
透射、扫描电镜样品制备
透射电子显微分析和扫描电子显微分析的衬度理论
六、六、 作业作业 （思考题（思考题））
六六、、 作业作业 （（思考题思考题））
1.电子显微分析的特点？
2. 静电透镜和磁透镜各有什么特点？各用于电镜中的什么部位？
3. 电磁透镜的像差有哪几种？产生原因及克服方法？
4. 电子的弹性散射有什么特点？用于什么分析？
5.什么是二次电子？用于什么分析？
6. 透射电子显微分析的应用？透射电镜的特点？
7.透射电镜的结构？
8.粉末样品和薄膜样品的制备。
9 说明电子显微像的理论叫什么理论？透射电子显微分析中该理论有哪几
种？各适用于什么材料？
10. 扫描电子显微分析的应用？扫描电镜的特点？
11.扫描电子显微分析的衬度有哪几种？这几种衬度是如何形成的？各用于
解释什么电子显微像？
12.扫描电镜式样的制备有什么要求？如何制备？
13.什么是电子探针？用途？
案案 例：例：
案案 例例：：
图2-1 1350 ℃烧结SrAl O : Eu2 + , Dy3 + 长余辉光致发光陶瓷的样品的SEM照片
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图2-2 CaS:Eu,Sm样品的SEM照片
图2-3 Yb:YAG 陶瓷断面的 SEM 照片 (含气孔)
概概 述：述：
概概 述述：：
i. 光学显微镜的局限性：
1. 分辨能力 （分辨率）：
一个光学系统能分开两个物点的能力，数值上是刚能分开 （清楚
地）两个物点间的最小距离。
阿贝公式：
r=0.61λ/nsinθ
r —分辨率 与λ成正比
注：r ↓，分辨能越高
2. 局限性：
对可见光：取λ=600nm r=200nm
电子束：有波动性 λ=0.0388~0.00087nm
r=0.2~0.3nm （可直接分辨原子）
ii. 电子显微分析：
是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生的各种物理信号、分析
试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。
透射电子显微镜 （TEM ）
扫描电子显微镜 （SEM ）
电子探针 （EPMA ）
1. 应用：
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