纳米碳管气敏传器及随机共振检测系统的研究.pdf

摘要 摘要 目前气体检测基本运用了传感器的敏感元件对气体的吸附特性来改变其电 学特性如电阻、电容、频率等参数，从而实现对气体的检测；但这类传感器普遍 存在受外界环境影响大，吸附、脱附时间长，可重复性差，气体选择性小，使用 周期短，检测设备复杂，成本高等缺点。为此提出了一种新的气敏传感器设计思 想，它利用高电场电离待测气体，根据击穿电压和放电电流的不同来区分气体。 然而在常温大气压下，要使气体具有稳定的导电能力需要很高的电压建立足够强 的电场，使得这种传感器的使用受到了安全和费用等问题的限制。纳米碳管的出 现有效地解决了该问题，在外加直流电压激励下，纳米碳管的尖端会形成很强的 非均匀电场，在电压相对较低的情况下能很容易地电离气体且获得较大的放电电 流。 本文研究了一种基于气体放电原理的定向纳米碳管阵列的气敏传感器。其中 定向纳米碳管阵列的制备采用了阳极氧化铝(AAO)模板法，利用氧化铝的纳 米孔壁对碳管生长过程中起到的限制作用来保证其定向性。虽然目前已有许多研 究小组都能在AAO模板上生长出定向纳米碳管，但通常所需的生长时间都很长． 实验中通过交流电沉积法在AAO模板纳米孔底沉积了钻催化剂，采用化学气相 沉积(a巾)法数分钟内就能快速生长定向纳米碳管。AAO模板法制得的纳米 碳管阵列与铝基底相连，因此在用纳米碳管做电极时，基底作为电极一端引出， 可以方便地与外部电路连接。由于纳米碳管和电极是一体的，简化了器件结构和 工艺，控制和测量都很方便。 纳米碳管气敏传感器工作时以纳米碳管阵列作为阳极，铝板为阴极，聚酰亚 胺绝缘薄膜用来调节两极间距离，可以通过使用不同厚度的绝缘薄膜的方法来改 变距离，使极间距离在数十至数百微米内可调。实验中在外加电压不超过500V 的情况下，该传感器成功地对氩气、空气、氮气和二氧化碳进行了检测；同时也 对不同浓度的氮气和氩气的混合气体、氩气和空气的混合气体、氨气和空气的混 合气体以及氮气和氨气的混合气体进行了地检测。对于外界的环境温度、湿度的 影响也给予了分析，实验结果表明该传感器具有灵敏度高、响应时间快，可靠性 高和重复性好等优点，有较大的实用价值。 摘要 弱信号检测是传感器检测技术正在发展的领域，一般考虑弱信号检测技术时 往往把注意力集中到如何抑制噪声上，而检测系统在抑制噪声的同时，被测信号 也受到抑制或损害。随机共振理论的提出，为微弱信号检测提供了新的途径。随 机共振的本质是由于输入信号、噪声和非线性系统的共同作用，使部分噪声能量 转化为信号能量。基于随机共振的弱信号检测技术与传统检测方法的区别在于它 是利用噪声而不是消除噪声来达到信号检测的目的。因此随机共振现象在微弱信 号检测方面有着独特的优势，受到了广泛的关注。 本文所研制的纳米碳管气敏传感器能够对包括惰性气体在内的多种单一气 体和确定性混合气体进行检测，然而对于混合气体在某些浓度范围内却无法有效 地分辨。鉴于随机共振在弱信号检测方面的成功应用，创新地提出了将随机共振 检测系统引入气敏传感器领域来提高检测的灵敏度。文中构建了基于随机共振的 气敏传感器检测系统，采用了多层随机共振算法来提高精度，根据信噪比最大值 之间的差值完成了对气体不同的浓度的区分，从而提高了传感器的灵敏度。本文 所提出的方法灵活有效，可进一步拓宽随机共振的应用领域。 本文在纳米碳管气敏传感器和随机共振这两种新器件新理论框架下设计和 研究了气体检测的新技术和新方法。实验和数值计算结果表明，该传感器具有结 构简单、灵敏度高、响应时间快，可靠性高和重复性好等优点，有较大的实用推 广价值。本项目的研究对于微纳技术在气体检测中的应用实施具有极大的现实意 义，同时对于随机共振理论的进一步发展及其在弱信号检测中的应用也有一定的 价值。 关键词：纳米碳管 随机共振气敏传感器阳极氧化铝模板 弱信号检测气体放电 2 摘要 Abstract ·At sensors utilize characteristicsof present