Measurement传感器.ppt

霍尔元件 霍尔元件应用 其中，Z0为线圈阻抗，Rc为电缆电阻（可忽略） Cc为电缆电容，RL为负载电阻。 动圈磁电式传感器等效电路 速度信号经过积分或微分可测量位移或加速度 (上式忽略了Rc、Cc，且RLZ0 ) 注意： a.上面讨论的速度是指线圈与磁场（壳体）的 相对速度，非壳体的绝对速度。 c. 线圈运动产生感应电动势后，线圈中将有电流流过，此电流产生的交变磁通会削弱传感器的磁场磁通，使传感器灵敏度降低，导致非线性（可由补偿装置减小非线性）。 b. 磁电式传感器工作原理可逆，作为传感器它 处于发电状态；若对线圈施加交流激励电压， 线圈将在磁场中振动（电动机）。 2.. 磁阻式 磁阻式传感器线圈与磁头彼此无相对运动，而是由运动的导磁物体改变磁路磁阻，引起磁力线的增强或减弱，使线圈产生感应电动势。 实际应用中，为 了提高灵敏度、 线性性及克服某 些外界条件（如 电源电压、环境 温度等）的变化 对测量精度的影 响常采用差动式（如右图）。此时灵敏度提高一倍，非线性误差减小为： 2. 面积变化型 包括线位移型（平面线位移和圆柱体线位移）和角位移型两种。 (1) 角位移型 1 — 动板 2 — 定板 其中，?：覆盖面积对应的中心角； r：极板半径。 (2)平面线位移型 1 — 动板 2 — 定板 其中，b：极板宽度。 (3)圆柱线位移型 1 — 动板 2 — 定板 其中，D：圆筒孔径； d ：圆柱外径。 面积变化型电容传感器输入输出成线性关系，但灵敏度较低，适用于较大直线位移及角位移测量。 3.介质变化型 如右图，厚度为 ?2 的介质（?2 为 其介电常数）在 电容器中左右运 动，由于电容器 中介质的介电常 数改变，电容量 改变。设电容器极板宽度为b，介质?2的宽度大于等于b。 当极板间无介质?2时， 存在介质时，C=CA+CB （并联） 其中：?1= ? - ?2 从而： 4.特点 a. 输入能量小（极板间静电引力小）、灵敏度高 b. 动态特性好（可动质量小，固有频率高） c. 发热小，能量损耗小 d. 结构简单、适应性好，可在高、低温、强辐射 环境中工作 . 测量电路 电桥型电路 振荡器 C1 L1 L2 C2 Cx 放大 检波 输出 谐振电路 ~ L1 L2 C1 C2 放大 相敏 解调 滤波 调频 振荡器 调频电路 限幅 鉴频 放大 输出 Cx 传感器 ? 运放电路 放大器 C0 Cx uy 驱动电缆工作原理 1 测量 电路 Cx 7.应用 (1)电容式测厚 (2) 转速测量 1 — 齿轮 2 — 定极 3 — 电容传感器 4 — 频率计 第4.5节 压电式传感器 压电式传感器是一种可逆型换能器，既可以将机械能转变为电能，又能将电能转变成机械能。其工作原理是利用某些物质的压电效应。 (1)压电效应 1. 变换原理 某些晶体在外力作用下，不仅产生形变，而且内部发生极化现象，在其表面产生电荷，形成电场；去掉外力后又重新回到不带电的平衡状态，这种现象称为压电效应。 与压电效应相反，如果将具有压电效应的晶体置于电场中，其几何尺寸也发生变化，这种由于外力作用导致物体机械变形现象称为逆压电效应。 具有压电效应的晶体称为压电晶体。 (2)石英晶体的压电效应 理想形状：中间为六角形棱柱，两端为对称的棱锥，共30个晶面。 光轴： z 轴，与晶体纵轴方向一致。光线沿 z 轴方向通过晶体不发生双折射。 沿光轴的作用力不产生压电效应，故又称为中性轴。 电轴： x 轴，通过两个相对的六角棱线并垂直于光轴的轴线。 垂直于此轴的晶面上有最强的压电效应。 z-z光轴 x-x电轴 y-y机械轴 机械轴：y轴，垂直于x轴和z轴所在平面的轴线。 在电场作用下，y轴具有最明显的机械变形。 石英晶体z轴仅一个，x轴和y轴各有3个。 纵向压电效应：沿x轴施加作用力，晶体表面产生电荷的现象。电荷出现在与x轴相垂直的表面上。产生的电荷量为： qx=dx?Fx 其中，dx：纵向压电常数；Fx：作用力。 横向压电效应：沿 y 轴施加作用力，晶体表面产生电荷的现象。电荷仍出现在与 x 轴相垂直的表面上。产生的电荷量为： 其中，dy：横向压电常数； Fy：作用力； sx、sy ：分别为与x 轴、y 轴相垂直的表面面积； a ：x轴向厚度； b ：y轴向长度。 由于力所施加的表面与感生电荷的表面不同，电荷量与晶体尺寸有关。 根据石英晶体轴对称的条件，dy=?dx，从而： 即横向压电效应产生的电荷与纵向压电效应产生的电荷极性相反。 切向压电效应：沿x 轴或y 轴施加剪切力，晶体表面产生电荷的现象。沿x