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第一章 真空的定义及其度量单位 概念：利用外力将一定密闭空间内的气体分子移走，使该空间内的气压小于 1 个大气压，则该空间内的气体的物理状态就被称为真空。 真空，实际上指的是一种低压的、稀薄的气体状态。 目前标准大气压定义：0摄氏度时，水银密度13.59509g/cm3， 重力加速度 980.665cm/s2时，760 mm水银柱所产生的压强为1标准大气压。 1atm=1.01*105Pa=760Torr=1.0133*106 微巴 低真空 105-102 气态空间近似为大气状态，分子以热运动为主，分子之间碰撞频繁。低真空，可以获得压力差而不改变空间的性质。 中真空102-10-1 中真空，气体分子密度与大气状态有很大差别。气体分子的流动从黏滞流状态向分子状态过渡，气体对流现象消失。气体中带电离子在电场作用下， 产生气体导电现象。（离子镀、溅射镀膜等气体放电和低温等离子体相关镀膜技术） 高真空10-1-10-5 容器中分子数很少，分子平均自由程大于一般容器的线度，分子流动为分子流，分子与容器壁碰撞为主，在此真空下蒸发材料，粒子将按直线飞行。（拉制单晶、表面镀膜、电子管生产） 超高真空 10-5-10-9 气体分子数更少，几乎不存在分子间碰撞，此时气体分子在固体表面上是以吸附停留为主。入射固体表面的分子数达到单分子层需要的时间也较长，可以获得纯净表面。（薄膜沉积、表面