光谱分析方法测试GMLM微间距的实验和方法推广.pdfVIP

第28卷，第7期 O 2 O and July，2008 8年7月SpectroscopyspectralAnalysis 光谱分析方法测试GMLM微间距的实验和方法推广 张 洁，黄尚廉，张智海，孙吉勇，史玲娜，朱 永 重庆大学光电工程学院，光电技术及系统教育部重点实验室，重庆400030 摘要基于MEMS的光栅平动式光调制器(GIⅢ』vI)依靠结构中可动光栅和下反射镜之间的微间距的变 化来实现光的调制作用，被应用于显示领域。可动光栅和下反射镜之间的微间距是一个关键的参数，传统的 测试方法如台阶仪等要破坏结构，wln(()白光干涉仪测量成本高，所以要寻求一种测试成本较低、测量精 度较高的测试方法。文章采用非接触的波长扫描式光谱分析方法进行了GMLM可动光栅和下反射镜之间的 微间距测试实验研究。实验表明：实验结果和理论分析吻合，验证了理论模型的正确性；对比wYK()白光 干涉仪测试，该方法的相对测试误差小于1％；具有很好的重复性。对该光谱分析方法进行了推广，从理论 上推导了该方法