磁控溅射在PI石墨烯基体上制备氧化锌薄膜.pdfVIP

第38卷 第4期 辽 宁科 技 大 学 学报 Vb1．38NO．4 2015年8月 JournalofUniversityofScienceandTechnologyLiaoning Aug．2015 磁控溅射在PI／石墨烯基体上 制备氧化锌薄膜 刘思宁，周艳文，沙天怡，齐艳萍，佟欣儒，王羽倩，吴法宇 (辽宁科技大学 材料与冶金学院，辽宁 鞍山 114051) 摘 要：聚酰亚胺(PI)／石墨烯复合薄膜兼备了可挠曲性及透明、导电性，可作为柔性透明导电电极用于柔性电 子器件中。但附着于PI_E的石墨烯易划伤，使其导电性变差。本文采用脉冲直流磁控溅射法，以PI／石墨烯为基 体，镀制保护石墨烯的氧化锌薄膜。分别采用原子力显微镜、X射线衍射仪、台阶仪、霍尔效应仪及紫外．可见分 光光度计检测PI2／~墨烯／ZnO复合薄膜的表面形貌、晶体结构、薄膜厚度及导